Кассета для травления пластин Советский патент 1983 года по МПК H01L21/00 

Изобретение огносится к полупроводниковой технике и может быть использовано в технологии произвоаства полу- щювоцниковых пластин.

Известно устройство для травления пластин, в котором пластина укрепляется на йне тефлоновой лодочки, плавающей в сосуде с травителем. Перемешивание травителя осуществляется инертным газом, подаваемым в сосуд через мелкие отверстия t 1

Устройство не пригодно в условиях массового производства.

Наиболее близкой по технической сущности к изобретению является кассета для травления пластин, содержащая основание в виде диска с отверстием в центре, на котором размещены по концентрическим окружностям два ряда 1 точечных фиксаторов в виде сгержней 22

В кассете пластины устанавливают между стержнями вертикально, и возможно их соприкосновение между собой, что цвет плохое качество травления пластин.

Цель изобретения - повышение качества травления.

Поставленная цель достигается тем, чго кассета для травления пластин, преимущественно полупроводниковых, содержащая основание в виде диска с отверстием Б центре, на котором размещены по концентрическим окружностям два ря да точечных фиксаторов в виде стержней она снабжена дополнительными основаниями и крьпдкой в виде диска, при этом основное и дополнительные основания и крьшка установлены друг под другом на одинаковом расстоянии и соединены меж собой стержнями точечных фиксаторов, причемстержни из рядов выполнены съемными-и установлены попарно относительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда для пластины,

Кроме того, съемные штыри точечных фиксаторов соединены между собой попарно перемычкой, размешенной над крьпикой.

На фиг. 1 показана часть кассеты, вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Кассета состоит из жестко соединенных между собой дисков 1. выполненных из винипласта и 230 ±30 мм с отверстием в центре 0 110 + 30мм. Диски, верхний из которых является крышкой.

расположены параллельно и на одинаково расстоянии друг от друга, равном 10 + 2 мм. Количество дисков может меняться от 2 до 6 в.зависимости от емкости кассеты, и они соединены между собой стерн нями 2 - 5, Каждая пластина, помещенная .между двумя дисками (рабочей стороной вверх) фиксируется с помощью четырех стержней, размещенных по двум концентрическим окружностям. При этом стержни одного ряда выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда для пластины. Съемные штыри соединены между собой попарно перемычкой 6, размещенной над крышкой. На каждом диске может быть установлено до 12 пластин 0 40 мм, На крьщ1ке установлена ручка 7, имеюща вертикальный шток 8, который может бы соединен с валом электродвигателя (не показан).

Кассета работает следующим образом

При подготовке кассеты к работе стержни 2 и 3 вынимаются, и в каждую ячейку образованную четырьмя стержнями - помещается пластина рабочей стороной вверх и фиксируется съемными стержнями.

Кассета закрепляется на валу электродвигателя и совершает возвратно-поступательное движение в ванне с травителем При этом пластины находятся во взвешенном состоянии, каждая пластина размещается между четырьмя стержнями и двумя основаниями и равномерно омьтается травителем со всех сторон.

Диаметр отверстия в центре каждого диска определен экспериментально и равен 1,5 диаметра пластин.

Расстояние между дисками также . определено экспериментально и равно 0,20,25 диаметра пластины.

Кассета может быть выполнена из винипласта, фторопласта и других химически стойких материалов..

Кассета позволяет получать пластины с разбросом по толщине 10-15 мкм (т.е. не превьш1ающим первоначальный).

Кассета может быть использована не только для травления полупроводниковьос пластин, но также и при проведении про.цессов проявления фоторезиста, травления окисного слоя, слоя металлизации и других фотолитографических процессов.

Ф(

1. КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН, преимущесгвенно полупроводниковых, содержащая основание в вице диска с отверстием в центре, на котором размешень по концентрическим окружностям два ряда точечнБК фикс зторов в виде стержней, отличаю ш a я с я тем, что, с аелью повышени${ качества травления, она снабжена цопол нительными основаниями и крышкой в . виде диска, при этом основное и дополнитепьные сюнования и крышка установлены друг под другом на одинаковом расстоянии и соединены между собой стераснями точечных фиксаторов, причем стержни одного из рядов выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда для пластины.1 2. Кассета по п. 1, о т л и ч a ющ a я с я тем, что съемные штыря точечных (фиксаторов соединены между собой попарно перемъгчкой, размешенной над крышкой.