Устройство для химического травления Советский патент 1984 года по МПК H01L21/00 C25D17/06 

2. Устройство по п. 1, отчто .оно

тем,

личающееся

снабжено магнитами, герметично

1100659

установленными в теле кассеты и на приводе один напротив дру.того.

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО tPABJlEHHH, преимущественно полупроводниковых пластин, по авт. св. № 752558, отличающееся тем, что, с целью повышения.качества травления, оно снабжено съемным фиксатором пластин в гнездах зубчатых колес, вьтолненным в виде втулки с фланцем, установленным с возможностью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором выполнены отверстия для циркуляции рабочей жидкости. (Л

Изобретение относится к технологическому оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов.

По основному авт. св. № 752558 известно устройство для химического травления, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащее цилиндрическую полую камеру, в которой установлены зубчатые колеса с гнездами для пластин, и съемную кассету, соединенную с приводом, причем камера снабжена неподвижным зубчатым венцом, а зубчатые колеса установлены на съемной кассете с возможностью взаимодействия с зубчатым венцом камеры Cl 3.

Однако известное устройствоне обеспечивает качества травления заготовок, кроме того, в устройстве возможны случаи всплытия пластин из гнезд кассет.

Цель изобретения - првьшение качества травления заготовок.

Поставленная цель достигается тем что устройство для химического травления, преимущественно полупроводниковых пластин, снабжено с-ьемным фиксатором пластин в гнездах зубчатьк колес, вьтолненнЕЛ4 в виде втулки с фланцем, установленным с возможностью перекрытия среднего диаметра зубчатых колес, в котором вьтолнены отверстия для циркуляции рабочей жидкости, кроме того, устройство снабжено магнитами, герметично установленными в теле кассеты и на приводе один напротив другого.

На фиг. 1 представлено устройство общий вид; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1j на фиг. 3 - вид В на фиг. 1j на фиг. 4 и 5 - средства автоматического управления устройством.

Устройство для химического травления имеет цилиндрическую полую камеру 1 с отверстиями в боковых стенках ниже уровня расположения пластин к ним пристыкованы штуцер 2 подвода реактора и пневмокраны 3 и 4 отвода

реактива в слив и сборную емкость. С внутренним объемом камеры 1 ниже уровня залива реактива соединено температурное реле 5, пристыкованное к - боковой стенке камеры 1. Напротив дна камеры 1 расположен коллектор 6 обдува. Штуцер 2, пневмокраны 3 и 4, реле 5, коллектор 6 имеют связи с средствами автоматики. В тело съем0 ной кассеты 7 герметично вмонтированы магниты 8, а ответные магниты 8 расположены на приводе 9, изолированном глухим дном.камеры 1. Зубчатые колеса 10, установленные на кассете 5 7, входят в зацепление с неподвижным зубчатым венцом 11 и на кассете 7 помещается съемный фиксатор 12 пластин в виде втулки с посадочным отверстием по центральному цилиндричес0 кому выступу кассеты 7 и наружным фланцем, перекрывающим расположение зубчатых -Колес 10 с гнездами для пластин.

Устройство снабжено блоком 13 5 заправки реактивов, блоком 14 управления, блоком 15 пневмоуправления, блоком 16 дозирования определенного количества реактива, ванной 17 .аварийной нейтрализации, скафандра 18 для размещения дублирующего устройства.

Кассета 7 с пластинами, накрытыми фиксатором 12, помещается в камеру 1. Из блока 13 заправки реактивов пос- . редством блока 14 управления и блока 15 пневмоуправления заливается в блок 16 дозирования определенное количество реактива и переливается в камеру 1 через штуцер 2 по команде блока 14 управления с программатором временных команд, который управляет в автоматическом режиме работой .привода 9, блока 16 дозирования и пневмокранами.З и 4 отвода реактива. Во время проведения процесса температурное реле 5 фиксирует значение температуры реактива и через блок 14 управления и блок 15 пневмоуправления коллектором 6 может осуществляться обдув дна камеры 1 и охлаждение реактора до требуемого значения темпер туры. Передача вращения на кассету 7 осуществляется от привода 9 посред ством магнитов 8. Всплытию пластин препятствует фиксатор 12. В процессе работы при возникновении аварийной ситуации (остановка вращения кассеты, из eнeниe режима травления из-за дефектов защитного покрытия лицевой стороны пластин и пр.) кассета с пластинами может быть перенесена в ванну 17 аварийной нейтрализации с водой, В случае выхода из строя одного из устройств процесс может быть продолжен в дублирующемустройстве, расположенном с первым в одном скафандре 18. Работа может производиться также и одновременно с двумя устройствами как при полной идентич1594 ности условий травления, так и при разных режимах. Таким образом, процесс травления автоматизируется. Качество травления повышается благодаря налич.ию фиксатора пластин в гнездах зубчатых колес и наличию магнитов в теле кассет и на приводе. Фиксатор препятствует всплытию пластин в гнездах зубчатых колес. Привод кассеты через магниты обеспечивает, помимо функции передачи движения, повьшение качества травления заготовок, так как магнитное поле воздействует на жидкость (травитель, вода) и микрочастицы коагулируют, образуя шлам, который находится во взвешенном состоянии, тем самым обеспечивая лучщие условия перемешивания жидкости, а следовательно, повьщ1ение -качества травления. ви(В Отсос

PeamaS

Н по 3,3

Tc/tuo

CSppf

peof irruSa. с.8.

JTcjri/B реанти а