Способ определения толщины проводящих пленок и устройство для его осуществления Советский патент 1983 года по МПК G01B7/06 

2. Устройство для .осуществления способа по п. 1, содержащее размещенный в корпусе подпожкодержатель для установки на нем рабочих подложек и образца- свидетеля и подключенный к-образцу- свидетелю блок измерения сопротивления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности определения тол|цнны и увеличения долговечности, оно снабжено закрепленной на подложкодёржателе над образцом- свидетелем с возможностью вращения вокруг своей оси зубчатой заслонкой с секторным вырезом и периодически взаимодействующими с нею упругим ({иксатором, закрепленным на подложкодержателе, и водилом, закрепленным на корпусе, а подложкодержатель установлен с возможностью вращения вокруг своей оси в противоположном относительно зубчатой заслонки направлении.

1. Способ определения толТданы проводящих пленок в процессе их напыления, заключаюстйся в том, что направляют поток напклляемого материала . на рабочие подложки и образец i свидетель и измеряют сопротивление напыляемой пленки на образце - сви:детеле, отличающийся , что, с целью повьпаения точности определения толгданы, периодически перекрывают поток напыляемого мате,риала над образцом - свидетелем в течение интервала времени, составляющего 80-90% от общего времени напыления. О ю 1 СП О. о

Изобретение относится к толщиномётрии и может быть использовано в частности, в технологии производства изделий тонкопленочной микроэлектроники для определения толщины проводящих пленок в процессЬ их напыления. Известны способ и устройство для определения толщины проводящих пленок в процессе напыления по величин их электрического сопротовления. Способ заключается в напылении пленки на образец- свидетель, размещенный в вакуумной камере вместе с рабочими подложками, и измерении его сопротивления, по величине кото рого с помаауью градуировочных кривых определяют толщину напшенной пленки Устройство для реализации указанн го способа содержит образец- свидетель, выполненный-в виде диэлектри ческой подложки с предварительно нанесенными на нее контактными токоотводами, которая размещена вместе с рабочими подложками на общем непод вижном полкодержателе в вакуумной камере. Над образцом- свидетелем кюжет Оыть размещена маска, с помощью которой задается длина и ширина наносимой на него пленки til. Недостатком известного способа и устройства является невысокая точность определения толщины низкоомных пленок, например, из золота, меди, алюкшния и т.п. вследствие малой величины их удельного сопротивления и влияния переходного сопротивления контактных токоотводов. Наиболее близким к предлагаемому является способ определения толщины проводящих пленок в процессе их напыления, заключаю(1Ийся в том, что направляют поток напыляемого материала на рабочие подложки и образец- свидетель, снабженный маской, и измеряют сопротивление напыляемой пленки на образце- свидетеле. Устройство для определения толщины проводящих пленок в процессе их напыления содержит размещенный в корпусе неподвижный подложкодержатель для установки на нем рабочих подложек и образца- свидетеля, снабженного маской, имеющей прорези сложной формы, н подключенный к образцу- свидетелю блок измерения сопротивления 2j С помощью маски на образец- свидетель наносится пленочное покрытие достаточно большой длины и малой ширины, нмекяцее благодаря этому высокое сопротивление, что позволяет использовать такое устройство для измерения толщины низкоомных пленок. Однако и в этом случае точность определения толщины при использовании известного способа и устройства недостаточна вследствие наличия небольшого нестабильного зазора между датчиком и маской. Изменения величины этого зазора приводят к различному рассеянию паров и, следовательно, к изменению ширины напыляемого пленочного покрытия. Кроме того, устройство имеет низкую долговечность из-за деформаций и механического износа сменных масок. Цель изобретения - повышение точности определения толщины проводящих пленок в процессе их напыления и увеличение долговечности используемого для этого устройства. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определения толщины проводяьдах пленок в процессе их напыления, заключающемся в том, 4to направляют поток напыляемого материала на рабочие подложки и образец- свидетель и измеряют сопротивление напыляемой пленки на образце- свидетеле, периодически перекрыВсцот поток напыляемого материала над образцом- свидетелем в течение ин