Электрохимический управляемый резистор Советский патент 1983 года по МПК H01G9/22 

,

/УУ/// / 7

(П

i

с

У///У//7/7

со сд

о

01

СП

ог.1 Изобретение относится к хемотрбни ке, а именно к конструкции электрохимического управляемого резистора. Известен управляемый электрохими ческий резистор, выполненный в виде размещенных в корпусе с электролитом управляющего электрода и резистйвного электрода. РезистивныЙ электрод выполнен вакуумным послойным напылением металлов на диэлектрическую подложку и состоит из двух основных частей; инертной и активной. Активна часть резистора ивменяет свои свойства в процессе работы- резистора, В качестве инертйой части резистивного электрода применяются плерки благородных металлов С Однако из-за низкой адгезии плено благородных металлов, полученных вакуумным напылением, к диэлектрн еской подложке (стеклу, керамике и т.п.) такой резистор имеет ограниченную надежность. . Известен также электрохимический Управляемый резистор, в котором резистивный электрод выполнен в виде послойно нанесенных слоев тантала, слоя платины (образующего .ийертную часть электрода) .и слоя серебра (образующего регулируемую по сопротивлению активную часть электрода). Использование дополнительного слоя тантала обеспечивает высокую адгезию к подложке резистивного электро-Да -2. Однако при многократном изменении величины активной части электро да происходит изменение параметров регу лирования и общее снижение ресурсной надежности, что однозначно связано со степенью и глубиной связи на границе инертной и активной части электрода. При слабой связи активного и инертного слоя происходит нарушение контакта на их границе, что вызывает изменение пределов регулиро вания и резкое снижение ресурса. При большой глубине связи возрастает нелинейность и нестабильность верхнего предела регулирования резистора. Цель изобретения - повышение стабильности параметров регулировани и ресурсной надежности управляемых резисторов. Поставленная цель достигается , тем, что вэлектрохимическсял управляемом резисторе, содержащем корпус. заполненный жидким электролитом с размещенньм в нем управляющим электродом и плеиочньм резистивньм электродом, выполненньм в виде послойно нанесенных на диэлектрическую подложку адгезионного слоя тантала, инертного слоя платины и активного слоя серебра, введен промежуточный слой, состоящий из твердого раствора платина-серебро и расположенный между активным и инертным слоем. На фиг.1 схематически показана, конструкция предлагаемого электрол химического управляемого резистора; на фиг.2 - резистивный электрод. Резистор представляет собой герметичный корпус 1, заполненный электролитом 2, в котором находятся управляющий серебряный электрод 3 и пленочный многослойный резистивный электрод 4 на диэлектрической под-ложке 5 с токовыводами б. Резистивт ный электрод 4 состоит из напыленных на диэлектрическую подложку 5 слоев тантала 7, платины 8, промежуточного слоя 9 (твердый раствор платина-серебро пераленного состава) и слоя серебра 10. При прохождении электрического тока управления через электролит прон.с ходит окисление или восстановление слоя Активного вещества резистивного электрода 4 и соответствующие этим процесссм увеличение или уменьшение его сопротивления, являкадегося основным параметром регулирования управляемого резистора. Окисление до верхнего предела регулирования по сопротивлению заканчивается внутри промежуточноЕо слоя 9 на глубине, пропорциональной приложеннсмиу напряжению в схеме управления. Таким образом, в прсж ежуточном слое 9 .всегда- имеется некоторое количество активного вещества, обеспечивающее равномерную кристаллизацию его на последующих стадиях восстановления и, следовательно, воспроизводимость параметров регулирования по сопротивлению. Управляемые резисторы, выполненные по предлагаемому изобретению, характеризуются высокой обратимостью параметров регулирования при длительном циклировании и их стабильностью и вывысокой ресурсной надежностью.

u,,/jyj,6:.

, ЛГ

SSS S4NNsS

x X X .

/VvgZ

.

04 VOsXVsX

/-/

ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ УПРАВЛЯЕМЫЙ РЕЗИСТОР, содержащий заполненный жидким электролитом корпус с разме щенньми в нем управляющим электродом и резистиъньм электродст, выполнеиньм в виде послойно нанесенных на диэлектрическую подложку адгезионного слоя тантала, инертного слоя платины и активного слоя на основе серебра, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности параметров регулирования и нгшежностн резистора, реэистивный электрод содержит прсжежуточный слой, расположенный между активньм и инертным слоями и выполненный в виде твердого раствора платина - серебро.