Зондовое устройство Советский патент 1980 года по МПК H05K1/04 

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для измерения пс ерхностного и удельного сопротивлений полупроводниковых материалов, в частности четырехзондовым методом, Известны зондовые устройства, содержащие зонды, подвижно установленные в цилиндрических направляющих l . Однако в зондовых устройствах с. подвижно устансявленными в цилиндрических ваправляюшнх зондами всеща :есть зазоры, которые обуславливают нестабильность расстояния между двумя соседними зондами в точках контактирсжания их с поверхностью измеряемой Полупроводниковой структуры. Известны зондовые устройства, содержащие зонд овую головку с неподвиж-. но закрепленными относительно друг друга в изолирующем корпусе двумя потенциальными зондами и предметный столик 2 Однако известное зондовое устройство обладает рядом недостатков, обусловленных наличием оси качания,зондов, расположенной выше точек контактирования йх с псжёрхностью измеряемой полупроводнвк:сюой структуры, что приводит при ковта&тировании к схопьжейшо острия збнда по поверхности структуры, взаимному травмированию и снижейию точности вз мерений. Цель изобретения - повышение точности измерений. Это достигается тем, что в известном зондовом устройстве, содержащем пред метный стсмгак и зонд сжую головку с неподвижно закрепленными относительно Друг друга в изолирующем корпусе двумя потенциальными зондами, предметный столик снабжен .осью качания, расположенной в плоскости контактирования симметрично относительно потенциальных зондсж. На фиг. 1 изображено зондовое устройство, вид сбоку; на фиг. 2 - четырехзондовая головка .с, дестральной парой потенциальных неподвижных зондов, опушенная на предметный столик, вид спереди. Зондовое устройство состоит из четырехаондовой головки 1, предметного столика 2, пащ-ографа 3, демпфера 4, стойки 5, станины 6, манипулятора 7, рукоятки 8 подъема демпфера, реПЯятора Hai рузки 9, вакуумной присоски 10, грузов 11, ре градировочных винтов 12. 13, обоймы 14 и подвески 15, оси 16, станины 17, винта 18, который служит для установки оси 16 в центральную плоскость межйу потенциальными зондами 19, запресрсйанных в изолирующий, корпус 20. В четырехзовдовой гояовке распалага ется пара подвижных токовых зондов 21. К. зондов пршсрёплёны электрические выводы 22. Работа зондового устройства 6сущест вяяется следующимобразом, Пб1 ёщают на п|редмётный сйолик 2 полупроводвиковую структуру 23, включают вакуумную присоску 10, Опускают рукоятку 8, вследствие чего срабатывает демпфер 4, и гол№ка 1 плавно опускае.тся на структуру 23. Пары зондов u9, 21 прижимаются к поверхности полупроводнвкоеой структуры 23. при неодновременном tcacaHBB зондоэ поверхности С1 зукту ры 23 контактирование всех четырех зондов с указанной поверхностью достигается за счет балансирования предметного стсхлика вокруг оси 16. Формула изобретения -. / Зондовое устройство, преимушествейно для измерения удельного и поверхностного сопротивлжий полупроводниковых матёриалов, содержащее предметный столик и зондовую головку с веподвижно заг крепленными относительно друг друга в изолирующем кбрйпуса двумя лотенциальHJ;,iMH зовами, отличающееся тем, что, с целью псюышения точности измеренная, предметный столик снабжен ocbio качания, расположенной в плоскости контактирования симметрично относительно потенциальных зондов. Источники инф ч мации, принятые во внимание при экспертизе 1.Кузнецов Ю. Н., Сменов Н. И. и Шевельков М. А. Электронная промЫшленность № 5, 40-42, 1974. 2,Полнак и Чаплин. для научных исследований Т. 33, № 8, 75-76, 1962.

22

г