СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ НИТРИДА ТИТАНА НА ДЕТАЛЯХ Советский патент 2005 года по МПК C23C8/36 

Способ получения покрытия из нитрида титана на деталях, преимущественно чувствительных элементах, изготовленных из металлов и сплавов с содержанием титана не более 10%, включающий обработку в азотной плазме при воздействии миллисекундного луча лазера и давлении 40-80 атм, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости за счет повышения микротвердости обрабатываемых деталей, обработку ведут в азотной плазме плотностью 5·10⁶ Вт/см², при этом в зону ее воздействия помещают титановую подложку и на расстоянии от нее, достаточном для формирования покрытия, устанавливают обрабатываемую деталь, на которую подают постоянное положительное напряжение величиной 100-180 В.