Станок для разрезки слитка полупроводниковых материалов, в частности, германия и кремния, на пластины Советский патент 1957 года по МПК B28D5/04 B26D1/46 

В ОСНОВНОМ авт. св. № 105357 описан способ разрезки драгоценных камней и минералов посредством натянутых стальных проволок, смазанных абразивной суспензией и совершающих возвратно-поступательное движение.

Предлагаемый станок предназначен для осуп1,ествления способа, описанного в основном авт. св. ,№ 105357, применительно к условиям разрезки слитков полупроводниковых материалов, в частности, германия и кремния на пластины (кристаллы).

Особенность станка - в выполнении его в виде подв:ижного в вертикальной плоскости рамочного бар.абана с намотанной на нем по спирали проволокой и державки для разрезаемого слитка, приводимой в качательное движение в плоскости расположения витков режущей проволоки.

Такое выполнение станка обеспечивает его точную и надежную работу по разрезанию слитков полупроводниковых материалов на пластины. На чертеже схематически изображен предлагаемый станок.

Горизонтальная рамка 1 одним конпом шарнирно соединена со станиной и может качаться вокруг оси шарнира. На расстоянии /з длииы рамки от оси ее качания укреплен рамочный барабан 2 с намотанной на нем по спирали режущей проволокой 3. В осевой плоскости барабана 2 непосредственно под ним расположена державка 4 разрезаемого слитка 5. Державка 4 укреплена на колене коленчатого вала 6, коренные шейки 7 которого расположены горизонтально в вертикальной осевой плоскости рамочного барабана 2. Коленчатый вал 6 получает качательные движения от кривошипнощат -иного механизма с.

Взаимодействие проволок 3 с разрезаемым слитком 5 осу1цеств;1яется в резу.1ьтате периодического возвратно-качательного движения вдоль проволок и надавливания на них слитка 5 в процессе колебаний коленчатого вала 6. Врезание проволок 3 на глубину осуодеств.чяется в результате опускания рамки / с рамочным барабаном 2 под воздействием пружины 9.

Подача абразивной суспензии в рабочую зону станка производится по резиновому шлангу 10 насосом //. Для этой цели может быть применен центробежный насос с четырёхлопастным ротором 12, вращающимся в полом цилиндре 13, я-вляющемся продолжением полого конического сосуда 14, в который заливается абразивная суспензия.

, Предмет изобретения

, 1. Станок для разрезки слитка полупроводниковых материалов, в частности, германия и кремния, на пластины (кристаллы) по способу, охарактеризованному в авт. св. № 105357, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что он выполнен в виде подвижного в вертикальной плоскости рамочного барабана с намотанной на нем по спирали режун1,ей проволокой и державки для разрезаемого слитка, приводимой в качательное движение в -плоскости расположения витков режущей проволоки.

2. Станок по п. 1, отличаю1ЦИЙСЯ тем, что для подачи режущих проволок на слиток барабан установлен на поворотпой подпружиненной рамке.