Способ получения магнитных пленок Советский патент 1984 года по МПК G11B5/858 

vl

О5

Изобретение относится к технике накопления информации, а именно к способам получения магнитных пленок. Известен способ изготовления магнитного слоя, для повышения однородности которого уплотняют и разглаживают посл-эдний действием вибрации ультразвуковой частоты с амплитудой вибрация от 0,0127 до 0,127 мм l „ Недостатком данного способа является то, что при реализации способа не удается повысить однородность слоя на уровне доменной структуры. Наиболее близким к предлагаемому является способ получения магнитных пленок путем электролитического осаж дения на подложку пленки магнитного материала и термического отжига полу ч.енной пленки в магнитном поле, вектор напряженности которого параллелен плоскости подложки 2J , Однако в известном устройстве кон центрация дефектов на поверхности подложки и в толще магнитного материала не позволяет получить необходимую однородность магнитного слоя. Цель изобретения - уменьшение неоднородности структуры за счет уменьшения величины дисперсии анизотроп ИИ, Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения магнитных пленок путем электролитического осаждения на подложку пленки магнитного материала и термического отжига полученной пленки в маг нитном поле, вектор напряженности которого параллелен плоскости подлож ки, в процессе термического отжига подложку приводят в колебательное движение в направлении, параллельном вектору напряженности магнитного пол с амплитудой колебаний 0,4-1,0 мкм и частотой колебаний 100-200 кГц. При введении ультразвуковых коле баний, направление которых совпадае с направлением силовых линий магнит ного поля, происходит более полная ликвидация кристаллографических деф фектов. Кроме того, происходит допо нительная механическая ориентация д менов и вытягивание их вдоль силовы линий магнитного поля. При введении в подложку ультразвуковых колебаний амплитудой выше 1 мкм происходят механические нарушения поверхности подложки, что ведет к ухудшению качества магнитной пленки. При колебаниях с амплитудой менее 0,4 мкм заметных изменений в пленке не происходит. Частота колебаний выбрана практическим путем по минимуму величины дисперсии анизотропии, при этом направление ультразвуковых колебаний устанавливают в направлении, параллельном плоскости подложки и вектору напряженности магниТного поля. Пример, При реализации способа в качестве подложки используют ситаловые пластины. Магнитные пленки толщиной 1 мкм получали электролитическим осаждением из электролита следующего состава, г/л: NiSO,7Н,0280 FeS04 ЫЮбг- 6Н2О10 ЬЦВО 25 . СахаринО,5 Предварительно на подложки осаждают катодный подслой Сг-Си толщиной 2000 А методом термического ис- . парения. Осаждение магнитной пленки производят при плотности тока 12 мА/ , Напряженность магнитного поля во время отжига поддерживают равной 1610А/м, температуру варьируют от 420 К до 520 К. Амплитуду ультразвуковых колебаний варьируют от 0,4 до 1,0 мкм при частоте колебаний 100 кГц, Измерения дисперсии анизотропии производят с помощью петлескопа. П р и м е р 2, Частота ультразвуковых колебаний 150 кГц, остальные условия те же, что и в примере 1, П р и м е р 3, .Частота ультразвуковых колебаний 200 кГц, остальные условия те же, что и в примере 1, Результаты измерений сведены в таблицу,, Дисперсия анизотропии в приведенных примерах не превышает 2°, в то время как известные способы обладают дисперсией анизотропии 4-6 .

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МАГНИТНЫХ .ПЛЕНОК путем электролитического осаждения на подложку пленки магнитного материала и термического отжига полученной пленки в магнитном поле, вектор напряженности которого параллелен плоскости подложки, отличающийся тем, что, с уменьшения неоднородности структуры за счет уменьшения величины дисперсии анизотропии, в процессе термического отжига подложку приводят в колебательное движение в направлении, параллельном вектору напряженности магнитного поля с амплитудой колебания 0,4-1,0 мкм и частотой колебаний 100-200 кГц. с €

0,4 0,7 1,0

0,4

470

1,2

1,2 1,0

1,0 Ы 1,1

М

1 ,0

1Q769404

Продолжение таблицы