Способ получения невыпрямляющего контактного покрытия на кремнии Советский патент 1957 года по МПК B05B5/08 

Предметом изобретения является способ получения невып(1ямля :и11его контактного покрытия на кремнии путем нанесения на последний электрическим путем MeTa.i.ia п.аатиновоп подгруппы.

Известно применение для получения омпческих контактов на кремнии Р-типа процесса электрического нанесения родмя на поверхность кремния.

Процесс родирования обладает рядом суи1.ественных недостатков: электролит очень чунствителен к малейшим загрязнениям, процесс проходит при высокой температуре (до 60°) и требует длительного времени {до 30 мин.); ч 1езвычапио сложным и трудоемким процессом является прнготовлет1ие родиевого электролита.

Предлагаемы способ не имеет указанных недостатков. Это достигается тем, что в качестве наносимого металла применяют иалладий, осаждаемый из электролита следующего состава: PdCl, 2Н.,О - 16 г/л; NH,Cl-20z/, МН,ОН-до р при температуре 20°, катодной плотности тока от 0,25

до1,0 А:длг, аноды -платиновые,, время осаждения 3 - 10 мин.

Процесс приготовления указанного электролита весьма прост;, соль палладия в готовом виде выпускается промышленностью. Электролит работает при низких температурах, следовательно, ванна na/iладирования не требует спецттпльных подогревающих устройств; скорость палладирования выше скорости родирования; п кроме того, палладий неско.1ько дешевле ролия.

Если использовать палла.чиевые контакты при проведении измерений параметров слитков кремния, то палладий после проведения таких измерений может быть легко растворен в смеси азотной и соляной кислот (на кремний эта смесь не действует) и полностью регенерирован в виде PdCl.j- 2Н.,О.

Таким образом, в этом случае драгоценный металл не расходуется.

Предлагаемый способ может бытьприменен при производстве полунроводниковых приборов и прн

измерении электрофизических параметров слитков кремния.

Предмет изобретения

Способ получения невыпрямляющего контактного покрытия на кремнии путем нанесения на последний электролитическим путем металла платиновой подгруппы, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса покрытия, в качестве наносимого металла применяют палладий, а осаждение производят из электролита, содержащего PdCl, 2Н2О - 16 г/л, NHiCl-30z,U и НН ОН-дорН9- 10.