Устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов Советский патент 1984 года по МПК H01L21/78 

11 Изобретение относится к микроэлек ронике и может быть применено для автоматизированной установки, закрепления, растягивания, фиксации в растянутом состоянии и съема элас тичного носителя полупроводниковой пластины, разделенной на отдельные кристаллы на операциях в.оуального контроля, разбраковки и посадки крис таллов в корпуса. Известно устройство для закреплен и растягивания эластичной планки с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной, содержащее основа ние с цилиндрическим выступом, эластичную пленку, подвижное кольцо для и фиксаторы. Эластичный носитель устанавливают на цилиндрический высту основания, зажимают крышкой и фиксируют. Внутри цилиндрического выступа находится подвижное кольцо, которое при помощи рукоятки, связанной с эксцентриками, перемещается вверх и растягивает носитель Cl Недостатками данного устройства я ляются неудобство использования -его установках визуального контроля, раз браковки и посадки кристаллов из-за громоздкости конструкции и наличия открываклцейся зажимной крышки под объективом оптического устройства, изменяющегося по высоте уровня положения кристаллов при растягивании пленки, что затрудняет контроль и съем кристаллов, а также отсутствие пространства внутри устройства для размещения механизма подкола кристаллов для отделения их от эластично го носителя, Работа производится вручную«Кром того, отсутствует возможность автом тизированной установки, закрепления растягивания, фиксации в растянутом состоянии и съема эластичного носи.теля. Наиболее близким к предлагаемому п технической сущности является устрой ство для растяжения эластичного носи теля полупроводниковых кристаллов, содержащее основание с опорным выступом, обойму для закрепления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа 2J. К недостаткам известного устройства относятся его ограниченные эксплуатационные возможности, обуслов6ленные тем, что операции по установке, закрещтению,, растяжению и съему эластичного носителя производятся вручную, что не позволяет автоматизировать процесс и испльзовать устройство в автоматической линии. Цель изобретения -.расширение эксплуатационных возможностей устройства. Указанная цель достигается тем,что устройство для растяжения эластичного носителя полупроводниковых кристаллов, содержащее основание с опорным выступом, обойму для закрепления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными на обойме, и упругим элементом, размещенным между обоймой и основанием, а механизм перемещения и фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры, размещенной между обоймой и основанием, причем в обойме выполнены окна и пневмодорожки для перемещения эластичного носителя, На фиг. I изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг, 3 - разрез А-А на фиг, 2(в положении загрузки на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг, 2, Устройство содержит основание 1 с (хщлиндрическим) опорным выступом 2, на котором происходит растяжение эластичного носителя 3 полупроводниковых кристаллов 4, выполненного в виде пленки, закрепленной в рамке 5. На опорном выступе 2 размещена обойма 6, содержащая две плиты нижнюю 7 и верхнюю 8, жестко закрепленные на ней, В плите 8 выполнены пневмодорожки 9, Между плитой 8 обоймы 6 и основанием 1 размещена пневно-. камера 10, а между плитой 7 обоймы 6 и основанием 1 - упругий элемент в виде Тарельчатой пружины 11, Обойма 6 установлена с возможностью перемещения относительно опорного выступа 2 по направляющим, образованным стойками 12 и отверстиями 13, В обойме 6 выполнены два окна - входное 14 и выходное 5 для прохода эластичного носителя 3, В плите 8 обоймы 6 установлены два подпружиненных выдвижных базирунлцих упора 16. В рамке 5 и обойме 6 выполнены отверстия 17 и 18 соответственно, диаметр которых превышает диаметр цилиндрического выступа 2 не менее, чем на две толщины пленки эластичного носителя 3. Устройство работает следующим образом. Для заг эузки установки) эластичного носителя 3 с разделенной на кри таллы 4 полупроводниковой пластиной в пневмокамеру 10 подают сжатый воздух который, увеличиваясь в объеме, воздействует на плиту 8, которая с жестко скрепленными с ней обоймой и нижней плитой 7 перемещается в верх нее положение вдоль опорного выступа 2основания 1, Тарельчатая пружина 11 сжимается,при этом верхняя рабочая плоскость плиты 8 располагается выше опорного выступа.2, открывая входное окно 14 для прохода рамки 5 в рабочу зону и выходное окно 15 для выхода рамки из рабочей зоны. Одновременно на пневмодорожки 9 верхней плиты 8 и базирующие упоры 16 подают сжатьш воздух, при этом базирукнцие упоры 16 поднимаются вьше уровня рабочей плоскости плиты 8, Эластичный носитель 3подается автоматическим транспортером (не показано) во входное окно 14, подхватывается воздухом пневмодорожек 9 и транспортируется в рабочую зону до базирующих упоров 16, Воздух из пневмокамеры 10 сбрасывается, тарел чатая пружина 11, распрямляясь . воздействует на нижнюю плиту 7, пневмокамера 10 при стравливании сжа того воздуха в атмосферу сжимается, обойма 6, верхняя 8 и нижняя 7 плиты перемещаются вниз вдоль выступа 2 основания 1. Обойма 6, перемещаясь вниз, давит на рамку 5, заставляя ее перемещаться вслед за собой, при этом эластичный носитель 3, скользя по торцу опорного выступа 2, растягивается до требуемой величины путем регулирования стравливания воздуха в атмосферу из пневмокамеры 10, Кристаллы 4 разделенной полупроводниковой пластины раздвигаются (между ними образуются зазоры), и онн могут сниматься с эластичного носителя путем подкола снизу и захвата сверху вакуумным пинцетом (не показано). После съема кристаллов в пневмокамеру 10 подают сжатый воздух и верхняя плита 8 с жестко закрепленной на ней обоймой 6 и нижней плитой 7 перемещается в верхнее положение. Тарельчатая пружина 11 сжимается, при этом верхняя рабочая плоскость плиты 8 располагается вьше опорного выступа 2, прекращается подача сжатого воздуха на базирующие упоры 16 и они под действием возвратных пружин опускаются вниз, открывая путь вдоль рабочей плоскости плиты 8, а в пневмодорожки 9 верхней плиты 8 подают сжатый воздух и эластичный носитель 3 через выходное окно 15 удаляется. Применение предлагаемого устрсжства позволяет автоматизировать его работу и использовать его в автоматических линияхо Фиг. V//////

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСТЯЖЕНИЯ ЭЛАСТИЧНОГО НОСИТЕЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКО ВЫХ КРИСТАЛЛОВ, содержащее осиовани с опорным выступом, обойму для закр Фиг. ления эластичного носителя, размещенную на опорном выступе, и механизм перемещения и фиксации обоймы относительно опорного выступа, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей, оно снабжено выдвижными базирующими упорами, установленными на обойме, и упругим элементом, р змещенным между обоймой и основанием, а механизм перемещения и фиксации обоймы выполнен в виде пневмокамеры, размещенной между обоймой и основанием, причем в обойме выполнены окна и пневмодорожки для перемещения эластичного носителя.