Кассета-спутник Советский патент 1982 года по МПК H01L21/00 H01L21/68 

(5) КАССЕТА-СПУТНИК

1

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть, применено для закрепления, растягивания и фиксации в растянутом состоянии эластичного носителя полупроводниковой пластины, разделенной на отдельные кристаллы на операциях визуального контроля, разбраковке и посадке кристаллов в корпус.

Известна кассета-спутник для закрепления и растягивания эластичном пленки, с разделенной на Кристаллы полупроводниковой пластиной, содержащая основание с цилиндрическим выступом, эластичную пленку, подвижное кольцо для растягивания носителя, зажимную крышку и фиксаторы.

При работе с эластичными пленками различной упругости и неоднородности толщины возникает необходимость значительно растянуть и надежно зафиксировать ее l .

Недостатком известной кассеты является неравномерность растягивания

эластичной пленки при различных ее .толщинах в различных сечениях.

Наиболее близкой «предлагаемой является кассета-спутник для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещена эластичная пленка, зажимные кольца для нее, фиксаторы 2.

Недостатком известной кассеты10спут.ника является невозможность .изменения величины растяжения пленки во время работы, так как эта величина постоянна и зависи от профиля и размеров выступа дополнительного кольца.

15 Пленка может быть растянута только на одну определенную величину и в таком положении зафиксирована. Однако величина растяжения пленки должна регулироваться в зависимости от вели20чины кристаллов, полупроводниковой пластины, а также в зависимости от количества снятых в процессе работы с пленки кристаллов и от типа, тол3 96 этом в любом растя щины пленки, при нутом положении пленка должна надежно фиксироваться. Другим недостатком является низкая производительность и неудобство работы с кассетой-носителем.при ее сборке и разборке, при пользовании фиксаторами, выполненными в виде заделок. В связи с большими усилиями при сборке и разработке требуется дополнительное специальное технологи ческое приспособление. Цель изобретения - улучшение эксплуатационных возможностей за счет регулирования натяжения эластичной пленки. Указанная цель достигается тем, что кассета-спутник, преимущественно для разделенной на кристаллы полупро водниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещены эластичная плен ка и зажимные кольца для нее, и фик саторы, она снабжена механизмом растяжения эластичной пленки, содержаще установленные на цилиндрическом выступе основания втулку и обойму, пру жины и кольцо, с гнездами на его цилиндрической поверхности, в которых размещены тела качения, при этом на внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка с плоской и конус. ной поверхностями, в которой установ лены кольцо с телами качения с возможностью взаимодействия тел качения с конусной поверхностью фигурной про точки и пружины, каждая из которых одним концом соединена с плоской поверхностью фигурной проточки, а дру гая - с кольцом, при этом зажимные кольца для эластичной пленки и фиксаторы размещены на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы. На фиг. 1 изображена предлагаемая кассета -спутник; на фиг. 2 -- втулка в замкнутом состоянии; на фиг.З то же, в разомкнутом состоянии. Кассета-спутник содержит основание 1 с цилиндрическим выступом 2, размещенную на нем эластичную пленку 3, с разделенной на кристаллы полупроводниковой пластиной k, закрепленную в зажимных кольцах 5 и 6, установленных концентрично цилиндрическому выступу 2 основания 1 , фик саторы 7, втулку 8, нижняя часть которой несет обойму 9, а верхняя зажимные кольца 5 и 6 и фиксаторы 7. 4 Втулка 8 установлена на цилиндфическом выступе 2 основания 1 с возможностью перемещения вдоль его оси и на ее внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка 10 с плоской поверхностью 11 и конусной поверхностью,12. В фигурной проточке 10 расположено кольцо 13 с гнездами l, в которых размещены тела 15 качения, кинематически замыкающие втулку 8 и цилиндрический выступ 2 и выступами 16, взаимодействующими в момент размыкания с обоймой 9. При этом кольцо 13 посредством пружины 17 кинематически связано с плоскостью 11 втулки 8. Эластичная пленка 3 с полупроводниковой пластиной Ц устанавливается между коническими поверхностями зажимных колец 5 и 6 и помещается на втулку 8 таким образом, чтобы фиксирующие выступы (не показаны) зажимного кольца 5 зашли под фиксаторы 7, поворотом которых пленка 3 зажимается между зажимными кольцами 5 и 6, фиксируемыми одновременно от вертикального перемещения относительно втулки 8, находящейся в верхнем замкнутом положении. Замыкание втулки 8 на цилиндрическом выступе 2 осуществляется заклиниванием тел 15 качения между конической поверхностью 12 втулки 8 и цилиндрической поверхностью выступа 2 путем действия пружин 17 на кольцо 13, в котором размещены тела 15 качения. Устройство работает следующим образом. Для растяжения эластичной пленки 3 втулка 8 перемещается вниз относительно цилиндрического выступа 2, для чего необходимо нажать на обойму 9 при этом кольцо 13 с телами 15 качения при воздействии обоймы 9 на выступы 16 перемещается вверх, размыкая втулку 8 на цилиндрическом выступе 2. При перемещении втулки 8 эластичная пленка 3, огибая торец цилиндрического выступа 2, растягивается до требуемой величины. Для замыкания втулки 8 в требуемом положении, отпускают обойму 9, при этом кольцо 13 с телами 15 качения под действием пружин 17 перемещается вниз, замыкая втулку 8 на цилиндрическом выступе 2 основания 1. В процессе работы (съема кристаллов с эластичной пленки 3) растяже ние эластичной пленки 3 может быть, изменено на необходимую величину и надежно фиксироваться в этом положении , при выполнении действий, указанных выше, т.е. перемещением втулки 8 относительно цилиндрического выступа 2 основания 1. Внедрение предлагаемой кассётыспутника на операции кассетирования кристаллов и их монтажа позволит уве личить производительность труда до 1,3 раза. Формула.изобретения Кассета-спутник, преимущественно для разделенной на кристаллы полупроводниковой пластины, содержащая основание с цилиндрическим выступом, на котором размещены эластичная плен ка и зажимные кольца для нее и фиксаторы, отличающаяся тем что, с целью улучшения эксплуатацион ных возможностей путем регулирования натяжения эластичной пленки, она снабжена механизмом растяжения эластичной пленки, содержащем установленные на цилиндрическом выступе основания втулку и обойму, пружины и кольцо с гнездами на его цилиндрической поверхности, в которых размещены тела качения, при этом на внутренней стороне втулки выполнена фигурная проточка с плоской и конусной поверхностями, в которой установлены кольцо с телами качения с возможностью взаимодействия тел качения с конусной поверхностью фигурной проточки и пружины, каждая из которых одним концом соединена с плоской поверхностью фигурной проточки, в другом - с кольцом, при этом зажимные . кольца для эластичной пленки и фиксаторы размещены на втулке со стороны, противоположной размещению обоймы. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Патент Великобритании WU88150, кл. В 5Е 8, 1977. 2.Авторское свидетельство СССР № 758960, кл. Н 01 L 21/00, 1980 (прототип).

// /

rAf

ю //

Фиг.2 //

Фи. fO