Устройство для получения покрытий из парогазовой фазы Советский патент 1984 года по МПК C23C11/02 

(Л С

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОГАЗОВОЙ ФАЗЫ, содержащее реакционную камеру с нагревателем, смесительную камеру и излучатель колебаний, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий и надежности конструкции, оноснабжено промежуточной камерой, установленной между смесительной и реакционной камерами, при этом излучатель колебаний установлен на промежуточной камере.

ю

4

00 1 Изобретение относится к области получения металлгтеескго покрытий путем восстановления газооб1разньвс соединений металлов на нагреты,: поверхностях и может быть использован в частности, в электронной технике,, для защиты вольфрамом теплонагружен ных поверхностей изделий о Известна установка для осуществл ния процесса восстановления газообразных фторидов водородомj содержащая реакционную камеру камеру доно становления, холодильник, вакуумный насос, орошаемьш скрубер и систему подачи газов, включающую баллоны с водородом и гелием, устройства дл очистки и осушки газов, ротаметры для измерения их расходов, контейне испаритель фторида, стационарный и механический смеср1тель с злектроприводом 1. Однако это устройство характеризуется сложностью конструкции, нед статочной надежностью из-за неблаго приятных условий работы вакуумного насоса при откачке газа со следами фторидов и сравнительно низким качеством получаемых покрытий. Наиболее близкой к изобретению по технической сущности и достигаем му результату является установка дл получения покрытий из парогазовой фазы, содержащая реакционную камеру с нагревателем, смесительную камеру и излучатель колебаний. Смесительная камера установлена непосредственно на реакторе, а звуковой излучатель смонтирован на смесительной камере Г23. Однако известное, устройство ке обеспечивает получение прочных ненапряженных покрытий, устойчивых: к разрушению в условиях длительк:ой эксплуатации с многократными циклическими тепловыми нагрузками. Это объясняется тем, что из-за размецения звукового излучателя на смесительной камере, установленной непосредственно на реакторе, не обеспечиваются стабильные условия оса5кдения и однородность потока парогазо вой смеси у покрываемой поверхности вследствие интерференции звуковьБ волн, неизбежной при наложении звуковых колебаний в реакторе, Кроме того, известное устройство недостаточно надежно ввиду того, что из-за размещения звукового излзгчателя на смесительной камере, установленной непосредственно на реакторе, основные элементы излучателя, определяющие надежность устройства в целом (мембрана, герметизирующие уплотнения) подвергаются воздействию многократных знакопеременных нагрузок в химически агрессивной среде при 120-130°С, что cHi-шает их рес1,фс, Целью изобретения является повышение качества покрытий и надежности конструкции. Поставленная цель достигается тем, что устройство для получения покрытий из парогазовой фазы, содержащее реакционную камеру с нагревателем, смесительную камеру и излучатель колебаний, снабжено промежуточной камерой, установленной между смесительной и реакционной камерами, при этом излучатель колебаний установлен на промежуточной камере. На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства. Устройство содержит реакционную камеру 1 с нагревателем 2, к выходу :которой соед:инительной магистралью 3 :аодключена система 4 улавливания газообразнь: х продуктов реакции, выполненная по схеме, включающей камеру довосстановления и поглотитель фтористого водорода (на схеме отдельно не указа:ны) . Реакцион:кая камера 1 соединительным трубопроводом 5 связана через выходной патрубок 6 с промежуточной камерой 7, на :которой через уплотнения 8 гермет{-ино закреплен излучатель 9 колебаний, имеющий подвижн:ую диафрагму 10., жестко соединенную тягой 11 с механизмом 12, обеспечивающим ее возвратно-поступательное :аеремеи ;ение „ Через входной патрубок 13 промежуточная камера 7 соединительной магрЕстралью 14 связана со смесительной камерой 15,, к которой соединительньпчи магистралями 16 подключены источники 17 и 18 соответственно гексафторида вольфрама и водорода с элементами дозировки и контроля расхода (не показаны),, Источники 17 и 18 через коммутирующие элементы 19 соединены с источником 20 инертного газа, например аргона, предназначенного для продувки устройства. Устройство работает следующим образом.