Фотошаблон для многослойной печатной платы Советский патент 1984 года по МПК H01L21/312 H05K3/06 

I

Изобретение относится к техноло гии изготовления печатных плат, в частности к изготовлению их фотошаблонов „

Известен фотошаблон, содержащий ПОДЛОЖКУ; на рабочей поверхности которой выполнены рисунок и реперные знаки для совмещения СП

Однако вьтолнение рисунка является наиболее трудоемкой операцией и длительность изготовления рисунка по времени пропорциональна степени его насыщенности.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является фотошаблон,, содержащий подложку на рабочей поверхности которой нанесены рисунок из маскирующего материала, непрозрачного для экспонирующего излучения и реперные знаки для контроля совмещения слоев5 вьшопненные в виде координатно-сопряженных эле ментов С2 3,

Недостатком известного фотошаблона является то, что длительность изготовления рисунка по времени пропорциональна степени его насыщенности ,

Целью изобретения является упрощение процесса изготовления фотошаблона ,

Поставленная цель достигается Teivs, что в фотошаблоне для многослойной печатной платы, содержащем подложку с рисунком из маскирующего материала5 непрозрачного для экспонирутощего излучения5 и реперные знаки, расположенные по углам рабочего поля подложки, подложка вьтолнена многослойной, фрагменты рисунка расположены на отлельньпс слоях, а реперные знаки - в координатносопряженных точках каждого слоя, причем каждый реперный знак вьтолнен в виде четьфех кругов одинакового диаметраS частично перекрывающих один другой с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками.

Выполнение подложки фотошаблона многослойной и представление рисунка фрап ентами, каждый из которых расположен на отдельном слое, упрощает процесс изготовления фотошаблона. Это достигается тем, что часть рисунка (отдельный фрагмент) выполняется, например, контактной печатьЮ а другие его фрагменты вьтолняются одновременно на нескольких фотопостроителях « Выполнение реперного

2443 .2

знака в виде кругов одинакового диаметра, частично перекрывакяцих друг друга с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками, обеспечивает высокую точность совмещения отдельных слоев фотошаблона.

На фиг. 1 приведен фотошаблон, общий вид, на фиг. 2 - то же, вид сбоку на фиг, 3 - первый слой под ложки фотошаблона с фрагментом рисунка; на фиг о 4 - второй слой подложки фотошаблона с другим фрагментом рисункаJ на фиг. 5 - поперечный разрез, общий вид,

Фотошаблон (фиг.1 и 2) содержит подпожку, состояшую из слоев 1 и 2, совмещенных друг с другом. На слое 1 нанесен один из фрагментов 3 рисунка фотошаблона и реперные знаки

4(фиг.З). Фрагмент 3 может представлять постоянную часть рисунка для группы фотошаблонов, например изображение площадок, используемых для металлизации. Реперные знаки 4

предназначены для совмещения слоев

1и 2 подложки фотошаблона„ На слое

2(фиг.4) нанесен другой.фрагмент

5рисунка фотошаблона и реперные знаки 6, которые предназначены для совмещения слоя 2 со слоем 1. Фрагмент 5 представляет топологию слоя печатной платы.

Фрагменты 3 и 5 в совокупности составляют рисунок фотошаблона, нанесенный маскируюгцим материалом,

5 непрозрачным для экспонирующего излучения,

Реперные знаки 4 и 6 выполнены в виде координатно-сопряженных элементов с фрагментами 3 и 5 соответственно на 1 и 2 слое подложки фотошаблона .

Изображение реперного знака (фиг.4) выполнено в виде четырех кругов 7 одинакового диаметра, непро зрачных для экспонирующего излучения. Круги 7 частично перекрываЕот друг друга. Образованная прозрачная для экспонирзтощего излучения крестообразная фигура 8 с острыми кромками

обеспечивает качественный контроль совмещения слоев подложки фотошаблона.

Фотошаблон изготавливается следующим образом.

5 Рисунок фотошаблона разбивается на несколько фрагментов. В качестве первого из фрагментов выбирается часть рисунка, одинаковая для всех 3 фотошаблонов комплекта. Этот фрагмент изготавливается на фотопостроителе. Для изготовления первого слоя 1 (фиг.2) шаблона первый фрягмент 3 (фиг.З) рисунка и реперные знаки 4 переносятся на заготовку методом контактной фотопечати. Последующие слои 2 фотошаблона (фиг.2) изготавливаются на фотопостроителе. На них формируются оставшиеся фрагменты 5 рисунка (фиг.4) и реперные знаки 6. Затем все слои совмещаются друг с другом по реперным знакам (фиг,5) 34 При этом острые кромки фигуры 8 обеспечивают высокую точность наложения отдельных фрагментов рисунка. Таким образом, использование предлагаемого фотошаблона позволяет .ественно сократить время, зтрачиваемое на его изготовление,, повысить качество рисунка за счет снижения вероятности сбоя фото построителя, а также позволяет оперативно направлять схемные ошибкиs выявляемые при эксплуатации радиоэлектронной аппаратуры.

ФОТОШАБЛОН ДЛЯ МНОГОСЛОЙНОЙ ПЕЧАТНОЙ ПЛАТЫ, содержащий подложку с рисунком из маскирующего материала, непрозрачного для экспонирующего излучения, и реперные знаки, расположенные по углам рабочего поля подложки, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления фотошаблона, подложка выполнена многослойной, фрагменты рисунка расположены на отдельных слоях, а реперные знаки - в координатносопряженных точках каждого слоя, причем каждый реперный знак вьшопнен в виде четирех кругов одинакового диаметра, частично перекрьшакицих один другой с образованием крестообразной фигуры с острыми кромками.

X

4

«

«

вев

«

ф «

«

в е

««

«

««

«фве

««

в«9®

«

е«в

««ее

««

в«

«««

«ее

«

«ecc

«ее

«eee

«во

eeie

«« ««

вфвв «««в

«

«

«.«ее

вео

ее

® вО О Ов Гввв9 вввО «в ««««ФЙОв®

Фг/г.2

Фиг.З

8

Фиг.4

.5