Инструментальная головка Советский патент 1984 года по МПК B28D5/02 B28D1/12 

Изобретение относится к механической обработке монокристаллов, преимущественно полупроводниковых, а более конкретно к устройствам для установки и натяжения алмазных отрезных кругов с внутренней режущей кромкой.

Но основному авт. св. № 606731 известна инструментальная головка, содержащая корпус с кольцевой канавкой, нажимное кольцо с установленным на нем кольцевым упругим элементом и алмазный круг, закрейЖнНый между корпусом и нажимным кольцом,.упругий элемент выполнен с наружным криволинейным контуром, очерченным по кривой, образованной наложением на-, окружность косинусоиды четырехкратного значения текущего угла 1.

Однако известная конструкция не позволяет добиться высокого качества отрезаемых пластин из-за неплоскостности алмазного круга, упругие свойства которого неодипаковы в различных направлениях.

Цель изобретения - повыщение качества отрезаемых пластин.

Поставленная цель достигается тем, что инструментальная головка снабжена прижимным кольцом и имеет расположенную со стороны алмазного круга канавку в нажимном кольце, при этом прижимное кольцо установлено в канавке нажимного кольца с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга к базирующему флапцу.

На чертеже изображена инструментальголовка, продольный разрез.

Инструментальная головка содержит корпус 1 с кольцевой канавкой 2 и базирующим фланцем 3, нажимное кольцо 4 с устаHOB.ietnihiM на нем кольцерым упругим элементом 5, заполненным сжатым газом или жидкостью под давлением, алмазный круг 6, закрепленный между корпусом 1 и нажимным кольцом 4 посредством винтов 1.

Эффективная поверхность упругого элемента 5 представляет собой кольцо, внутренний контур которого очерчен окружностью, а наружный - кривой, образованной наложением на окружность косинусоиды четырехкратного значения текущего угла.

Инструментальная головка снабжена прижимным кольцом 8 и имеет расположенную со стороны алмазного круга 6 канавку 9 в нажимном кольце 4. При этом прижимное кольцо 8 установлено в канавке 9 нажимного кольца 4 с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга 6 с помощью винтов 10 к базирующему фланцу 3.

Инструментальная головка работает следующим образом.

Алмазный круг 6 устанавливают между корпусом I и нажимным кольцом 4 и закрепляют по периферии с -помощью винтов 7. Натяжение круга осуществляют нагнетанием в полость упругого элемента 5 газа или жидкости под давлением. При этом в алмазном круге 6 в месте его контактирования с .радиусной поверхностью базирую|дего фланца 3 возникает сложное напряженное состояние от суммарного действия растягивающей нагрузки и изгибающего момента. Это приводит к прогибу круга 6 в области базирующего фланца 3, причем вследствие анизотропии материала круга величина прогиба вдоль окружности бази0 рующего фланца 3 неодинакова. Для устра нения прогиба круга прижимное кольцо 8 с помощью винтов 10 перемещают в осевом направлении до полного прижатия плоскости круга 6 к поверхности базирующего фланца 3, что приводит к выравниванию

плоскости алмазного круга.

Применение предлагаемой инструментальной головки позволяет уменьщить прогиб и отклонение от плоскости круга при его натяжении, что способствует улучщению качества отрезаемых пластин.

ИНСТРУМЕНТАЛЬНАЯ ГОЛОВКА по авт. св. № 606731, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества отрезаемых пластин, она снабжена прижимным кольцом и имеет расположенную со стороны алмазного круга канавку в нажимном кольце, при этом прижимное кольцо установлено в канавке нажимного кольца с возможностью осевого его перемещения при прижатии алмазного круга к базирующему фланцу. HJ сл 05