Способ очистки бескислородных газов от арсина Советский патент 1984 года по МПК B01D57/00 B01D53/02 

1С

Изобретение относится к способу очистки газов от арсина и может быть использовано в электронной, химической, нефтеперерабатывающей и других отраслях народного хозяйства.

Известен способ очистки газов от AsHj контактированием с активным углем, полученным из битуминозного угля, содержащим кобальт, никель, молибден, ванадий или титан 1.

Однако этот способ не обеспечивает полной очистки.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ очистки бескислородных газов от АзНз контактированием с окислами меди или свинца, нанесенными на окись алюминия, имеющими температуру 10- 200°С 2.

Однако известный способ обеспечивает степень очистки от AsH, равную 99,80%.

Целью изобретения является повышение степени очистки.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу очистки бескислородных газов от АзНз контактированием с твердым материалом с температурой до 200°С, очищаемый газ предварительно нагревают до 280-610°С, а в качестве твердого-материала используют металлическую медь.

Технология способа состоит в следующем.

Очищаемый от AsHj газовый поток, не содержащий кислорода, подают в электрообогреваемый трубчатый реактор, где газ нагревается до 280-610°С и в результате пиролиза АзНз образуется мыщьяк. Далее на охлаждаемой медной подложке, установленной навстречу потоку, с температурой не выше 200°С происходит конденсация мышьяка. Часть арсина, неразложившегося в результате пиролиза, взаимодействует с медью с образованием интерметаллических соединений.

Пример 1. Отходящие арсинсодержащие газы производства полупроводниковых приборов с концентрацией арсина 5,0 мг/нм направляют в трубчатый реактор пиролиза на очистку. Степень очистки газового потока от ,арсина в интервале темпетатур 20-278°С составила 12,6-i88,4/o.

Пример 2 Арсинсодержащий газовый поток с концентрацией арсина 5,0 мг/нм направляют в реактор пиролиза на очистку. Степень очистки газового потока от арсина в интервале темпетатур 280-610°С составила 99,99%. Пример 3. Газовый поток с концентрацией арсина 5,0мг/нмЗ направляют на очистку в реактор пиролиза. Степень очистки газового потока от арсина при температурах 615800°С составила 96,5-72,0%. Результаты испытаний приведены в таблице.

СПОСОБ ОЧИСТКИ БЕСКИСЛОРОДНЫХ ГАЗОВ ОТ АРСИНА контактированием с твердым материалом с температурой до 200°С, отличающийся тем, что, с целью повышения степени очистки, очищаемый газ предварительно нагревают до 280-610.с, а в качестве твердого материала используют металлическую медь.

12,6

27,0

56,3

62,8

74,1

79,6

88,4

99,99

99,99

Результаты приведенных анализов показывают, что предлагаемый способ позволяет повысить степень очистки от AsH

Продолжение таблицы

до 99,990/0 против 99,800/0 в известном способе.