Способ измерения шероховатости поверхности электропроводящих изделий Советский патент 1984 года по МПК G01B7/34 

1 Изобретение относится к контроль но-измерительной технике и может быть использовано в машиностроении для контроля состояния поверхности металлических изделий. Известен емкостный способ измерения шероховатости и Неровности поверхности, заключаю1дийся в том, что на контролируемой и эталонной повердности образуют электрические кон деисаторы, измеряют их емкости и по результату сравнения определяют сте пень шероховатости и неровности поверхности Cl1 . Недостатком этого способа является низкая точность измерения шероховатости хорошо обработанных поверхностей из-за незначительных изменений емкости, обусловленных небольшим соотношением высоты микронеровностей к величине зазора между обкладками конденсатора. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ измерения шероховатости поверх,ности электропроводяищх изделий, заключанмщйся в том, что прикладывают высоковольтное напряжение постоянного тока между поверхностью изделия и установленным на фиксироваииом расстоянии от нее измерительным электродом и измеряют ток разряда между ними, по величине которого определяют степень шероховатости путем сравнения величины этого тока со значением, определенным по таррировочным кривым или по эталонному образцу 23. Недостатком этого способа являет ся низкая точность определения шероховатости поверхности достаточно высокой чистоты обработки,, поскольку ток разряда, в основном, определяется соотношением высоты микровыступов к величине зазора между контролируе мой поверхностью и измерительным электродом, которое уменьшается при повышении частоты поверхности, вследствие чего величина измеряемого тока и его изменения малы. Целью изобретения явЛяется повышение точности и разрешакицей способности способа измерения шероховатости. Поставленная цель достигается тем, что согласно способу измерения шероховатости электропроводящих изделий, заключающемуся в том, что 9 прикладывают высоковольтное .напряжение постоянного тока между поверхностью изделия и установленным на фиксированном расстоянии от нее из(ерительным электродом и измеряют ток разряда между ними, по величине которого определяют степень шероховатости, до приложения высоковольтного напряжения кратковременно подают низковольтный потенциал на поверхность изделия и воздействуют на нее аэрозолем, содержащим масло. На чертеже схематично представлена установка дл:я реализации способа измерения mepokoBaTocTH поверхности электропроводящих изделий. Схема содержит измерительный плоский электрод I, размещенный на фиксированном расстоянии от поверхности контролируемого объекта 2 с микровыступаьш 3 (показаны утрированно),определяющими степень ее шероховатости. На концах остриев микровыступов показаны наэлектризованные мелкие капли 4 масла, образую1ф1е аэрозоль.Высоковольтный генератор 5 и последовательно включенньв с ним измеритель 6 тока разрядд. присоединены между измерительным электродом 1 и контролируемым объектом 2. К выходу измерителя 6 тока разряда может быть присоединен блок 7 регистрации со встроенной в него схемой сравнения (не показана) токов разряда с поверхностей контролируемого объекта и эталонного образца (непоказан). Способ осуществляют следующим образом. На контролируемую поверхность 2 кратковременно подают низковольтный, потенциал и воздействуют на нее азрозолем, содержащим масло (источник напряжения постоянного тока и распылитель масла для получения аэрозоля не показаны). Мелкие капли Д масла, электризуюпу еся в процессе распыления, осавдаются на микровыступах 3 контролируемой поверхности объекта 2 После обработки аэрозолем удаляют его из воздушного.пространства над контролируемой поверхностью объекта 2 путем продува, однако в области микровыступов 3. по-прежнему локализуiOTCH наэлектризованные мелкие капли . 4 масла, что создает эффект кажущегося увеличения высоты микровыступов. Далее устанавливают на фиксированном расстоянии от поверхности объекта 2 3и измерительньй электрод 1 и подключают между ними высоковольтный . гене-pafbp 5 постоянного тока с измерителем 6 тока разряда. Благодаря локализации наэлектризованных капель 4 масла около микровыступов увеличивается напряженность электрического поля в воздушном зазоре иа этих участках, вследствие чего увеличивается плотность инициирующих электронов с концов микровыс.тупов, что приводит к увеличению тока в разрядной цепи, а следователь но, и к повышению разрешающей спосо6нос:ти и точности даЬного способа измерения шероховатости. Этот эффект особенно заметно проявляется при контроле хорошо обработанных (чистых) поверхностей,поскольку линейные размеры микровыступов на них очень малы ( 1 мкм). Бла годаря локализации капель масла,имею 59 щих примерно такие Же размеры, в основном, на концах микровыступов, а не на пологих участках,как это происходит на грубо обработанных поверхностях, имеет место увеличение дифференциации токов разряда с микровыст упов различной высоты. Сравнивая полученйые значения тока раздяда с его значениями на соответствукицих таррировочных крквьпс или со значениями тока разряда с iioверхности эталонного образца с известной степенью шероховатости, оп- . ределяют степень шероховатости контролируемой поверхности объекта. Благодаря повышению разрешалоцей способности и точности предлагаемогр способа измерения шероховатости он пригоден для измерения 9 и 10 классов шероховатости поверхностей с высотой микронеррвностей Rg,,,2 мкм.

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ ИЗДЕЛИЙ, эаключакидийся в том, что прикладывают высоковольтное напряжение постоянного тока между поверхностью изделия и установленным на фиксированном расстоянии от нее измерительньм электродом и измеряют ток разряда между ними, по величине которого определяют степень шероховатости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и разрешающей способности, до приложен ния высоковольтного напряжения кратковременно подают низковольтный потенциал на поверхности изделия и воздействуют на неё аэрозолем, содержа8 щим масло. СП СО