Способ измерения шероховатости поверхности электропроводящих изделий Советский патент 1987 года по МПК G01B7/34 

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано ii машиностроении для контроля состояния поверхности металлических изделий, Я15ляется усоверик-нствопанием изобретения по авт. св. N1 1120159.

Целью изобретения является иовьпиение надежиости н достоверности измерений ЗУ счет и 1едотвраи1ения иостененносо стекания капель масла с микровыстуиов контро/ш- руемой новерхиости, обус.чавливаюним о нестабильность тока разряда, но ве.1ичиие которого судят о HiepoxoiuiTOCTH поверхности.

На чертеже схематично иредставлена установка д.:1Я осун1еств. 1ення снособа нзме- реиия Н1ероховатоети иоверхности .icKTpo- нроводяни1х изделий.

Установка содержи 1- измерительны н. юс- кий электрод I, размеи1енн1 1Й на (})икси- рованном расстоянии от новерхносги конгро- . 1ируе.мого изде.лия 2 с м11К 10выстуиами :5 (нгжазаш) ут|1нро1и11нк)), оирсде. 1Я1)11и1ми стеиен) ее Н1еро оватости. Па концах микро1 ыст нов показаны осажденные из av- розо, 1я наэ.мсктризованныс ме,:|кие канлн 4 KK . ia. Высоково.льтный енератор 5 и иос- 1едовательно вклк)чени1)1Й с ним измсриге.1Ь 5 тока разряда нрисоединены между нз .1ерите,)11Ы.м электродом 1 и контро. шруе мым изде.лнем 2. К 151 1ходу нз.мери те.ля В ток;. ;)азряда может быть присоединен б.юк 7 )егистрацин со встроеннс й в него схемой сра1 иения (не иоказана) TOKOIS шзряда с 11()ве|1хиостей ),;1ируем(Я() об 1)екта и эга.юиного образна (ие нокгкиш).

(дюсоб осуществляют с.кмуюшим обра3O.V.

На контро:1ируемук) пове 1Х11ость изде.шя 2 кратков)еменно подают низко1и). ьтньн | потенциал II В()здейст15ук)т на нее аэрозо- . 1ем, содержани1м viac. io (источник инзко- вол1 т11ого напряжения иостояни()1о тока и |1асиыли 1 е.1ь мас, 1а д.1Я н(К |уче11ИЯ аэрозо- , 1Я ие иоказа1Н)1). .Vlc.iKiie каи. Ш 4 Mac.ia, э.чектризуюшиеся в ироиессе расиы,1ения, втягиваются в об.части иаибо.чыией иеодно- родиостн электрического ио;|я вб.шзи микро- 15ыст иов 3 н осаждаются на них. Iloc.ie обработки иоверхиостн нзде.1ия 2 аэр()зо.1е.м ocia 1 ки его удаляют нз воздуи1 1ого зазора между новерхностыо изде. шя 2 н из- мерительным э. 1ек1родом I путем нродува, а поверхность изде.аня 2 быстро ох.лаж дают темнературы застывання масла. Эти онерании мслут б1)1ть совмешеиы, ес:1и иродув осушесп лять газом (нанример, воздухом), ох, 1аждсч111ым до соогветствую- щей тем11ератур1 1. В зависимости от конкрет- иьг yc. ioBHii, например, если об ьект не MacciiBHi)iii и его ох.лажденне не н|Н дстав- :1яет т1П дностей, охлаждение об ьекга может быть ocyiuecTB. icHo заранее, до обрабгп- ки аэрозо.чем. Осажденные на микр()В1)1с- туиах 3 кан, 1и 4 масла зас | 1вают, что ире- нятствует их иостеиениому стекаиию с микро

0

5

0

5

0

5

0

EbiCTVHOB 3 и иоз1и), 1яет максима. 1ьно ие- иользовать эффект кажун1егоея увеличения высоты микров1 1стуио1; в течение времени, достаточного д.1Я надежного измерения ста- нноиарнок) тока |1азряда, но ве.чичине которого судят о н1ерох(. ватости поверхности, возникающего UJMI ири.южеиии и кчжовольт- ного нанряжения иостоянного и, 1н нере.мен- lioio тока генерат(;ра 5 между электро- до.м 1 и новерхноет1:К) изделия 2. Fi. ia- |(;даря тому, что разрядиый ток в на- чальныГ| нс рио.ч временн стаио1иггся 6o, iee с 1 аби.. 1ЫН). но I M) ве. шчннс с бо, 1ьи1ей наде/ки(н Т1)Ю и достоверноет1)Ю можно су- днть о iHCpoxoHa i ос 1 и i ог.ерхиости при обес- нс чении макси i;i. ifjHoii точно1.-тн и i)a3pi, - HiaioiiUMi сиособиости снособа.

Л.:|Я сравнения .laiHioio снособа с известным нровсдеи экснсримен но из.мере- иию ик роховатости образно15 ) и К) к.пассов (R,% ),2 и 0.1 мкм соотвс тс гвеиио). Выс()коио. ;ьтиь И i енератор обесмечива.1 на- иряжеиие .ю () кВ. Л.1Я создания аэро- зо. 1Я ). 1Ьзова. И)сь ;ниера, 1ЬИ(к мас. Ю с ia.ioii 15Язкост1)Ю и ие очень низкой тем- iiepaT poii .астывання, с номоиило которою б|)|. 1И .иолучеиь Kaii.iH мас.ча размером око,К) 1 МКМ. Для ох. 1а/1 деиия исно. 1ьзо- na. iacb CMCi b воздуха с нарами а: .ота. которая продавалась чс)ез .азор между контро.1ир емо1 | новерхмостыо и измери е.1ь- ным э. К ктродом. Эксперимент иока.а., что при ocyiHcd B. icHHH данною снособа р,13|)ядн1)111 ток в нача.1Ы1ЫЙ нернод не заинсит от временн (пока мас. ю не- ра- 301 рсс тся разрядом), т(ида как но нзвост- иом ciioi-i)6y в ряде с.|учаев ве.шчнна Т1(1ча ii . киЧ) со в)ем1 Н1.. i/conunno :, иача. 1ьиьн1 нери(1д pai;v,i,ia. HpitMfM с р-.иног: скорос 1 ью д, 1я образн,.в с од||; аков()И Hic- рохова Г(ц.тыо IB зависимости . 1 е.1ичнг : .:ь Mac. ia, вя.1К iCTii, i см чср,: i г- II 1. д.), норо/к.к.;( ра i6poc и : ., г- ных значении разряд1Г)|0 ;; : . ni iU снижа. Ю достоверность н in-iii it-. ;. : -чч:- ных резу. пи атов.

). 1агодаря час гыи: вс.ледствие ох.1ажде1П -: верхиос ти в iipo;ifC . c в а тост и o6eciic4Hi-;a(. Tc .

Фо/7,1/(/,(а n:; ii - CHii :

(люсоб измерения И1срохова1с)ст:; ..,. iiocTii э.(И роводя1иих н:-;; с.:И1: :;В 1. св. Л - 1120159. (r,in.4ai(iinuiu-4 .:. -1:0. с целью повышения |;адеЖ1 ости и Д(п--: i;:icp- иости нзмере||и. .чп и. ш iioc.ie BO.-;.;I ; . .ия на поверхность и.зд(. 1ия аэрозо.чем и до 1|.1и.ложения BbiccjKoBo. ibTiioK) напряжения ох. 1аждают эту поверхность ниже температуры застывания .Mac. ia.

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано в машиностроении для контроля шероховатости поверхности металлических изделий. Целью изобретения является повышение надежности и достоверности результатов измерения шероховатости поверхностей высокого класса обработки. Способ осуществляют путем приложения небольпюго постоянного напряжения между поверхностью изделия 2 и измерительным электродом 1 одновременно с обработкой поверхности изделия аз розолем, содержащим масло. До или после обработки изделия аэрозолем поверхность его подвергают о.хлаж- дению ниже температуры застывания масла, что предотвращает постепенное стенание капель 4 масла с микровыступов 3 поверхности. Это обеспечивает стабильность тока разряда, протекающе -о между электродом 1 и контролируемой поверхностью изделия 2, при приложении между ними высоковольтного напряжения постоянного или переменного тока, создаваемого генератором 5, благодаря чему максимально используется эффект кажущегося увеличения высоты микровыступов, обеспечивающего повыщение точности и разрешающей способности данного способа. 1 ил. л (Л оо ел ьо со « ISJ