Способы получения термостойких полупроводниковых пленок двуокиси олова на поверхности керамики и плавленого кварца в интервале температур 300-350 известны.
Однако пленки, изготовленные по этим способам, при нагреве выше указанной температуры теряют свои полупроводниковые свойства.
Описываемый способ отутичается от известных тем, что в структуру пленки двуокиси олова вводят примесь ионов сурьмы и затем термически обрабатывают изделия с пленкой при температурах 950-1000 в течение 20-50 мин.
Введение примеси сурьмы в пленку осуществляют путем добавления в раствор для пульверизации от 3 до 10% (по отношению к весу четыреххлористоп) олова) хлористой сурьмы. В случае нанесения пленок путем обработки изделия в парах двуххлористого олова, к последнему добавляется от 5 до 25% хлористой сурьмы.
Указанный способ получения пленок позволяет расширить предел использования их в качестве высоко температурных нагревательных элементов и радиотехнических сопротивлений, устойчивых при температурах до 800-850
Предмет изобретения
1.Способ получения термостойких полупроводниковых пленок двуокиси олова на поверхности керамики и плавленого кварца, отличающийся тем, что, с целью сохранения электрических свойств полупроводниковых пленок при температурах до 800-850, в структуру пленки двуокиси олова вводят примесь ионов сурьмы и подвергают изделия с нанесенной пленкой термообработке при температурах 950-1000 в течение 20-50 мин.
2.Способ по п. 1, отл и ч а ю щ и йс я тем, что, в случае нанесения пленки пульверизацией, в раствор четыреххлористого олова добавляют 3- 10% хлористой сурьмы, а при осаждении пленки из паров эту же соль в количестве 5-25% вводят в исходное двуххлористое олово.
