Способ определения дефектов в соединении Советский патент 1984 года по МПК G01N19/08 

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к способам определения дефектов в соединен ях. Известен способ определения дефектов клеевого соединения-, заключающийся в том, что соединение вакуумирутот при температуре, превышающей на 100 температуру стеклования клея, охлаждают соедииение до исходной температуры и фикси ют места выпучивания, по которым судят о наличии дефектов в соедине-нии П . Недостатком этого способа являет ся ограниченность его использовани из-за коробления соединения после его нагрева и ох.лаждекия. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ оп ределения дефектов в соединении, вы полненном в виде подложки и нанесенной на ее поверхность пленки, заключающийся в том, что вводят по пленку газ под давлением и определя ют места вздутий пленки, по которым судят о нг1лиш1и дефектов в соединении. Газ вводят с помощью шприца прокалыванием пленки в различных ее местах 21 , Недостатком этого способа являет ся низкая надежность определения дефектов, поскольку прокалывание пл ки шприцем нарушает ее целостность к тому же возмошю прокалывание в стороне от дефектного участка. Цель изобретения - повышение надежности определения дефектов в соединен11ях с металлическими пленка ми путем исключения повреждения це стности пленки. Для достижения поставленной цели согласно способу определения дефектов в соединении, выполненном в виде подложки и нанесенной на ее поверкность пленки, заключающемуся в том, что вводят под пленку газ под давлением и определяют места вздути пленки, по которым судят о наличии дефектов в соединении, используют атомарный газ, а введение его под пленку осуществляют диффузией. При этом в качестве атомарного газа используют водород, Способ осуществляют следующим об разом: . На поверхность по,п;пожки наносят одним из известных способов металлическую пленку. Со стороны металлической пленйи на соединение воздействуют под давлением атомарным водородом, который диффундирует по всей поверхности меташлической пленки и проникает под нее на границу раздела металлической пленки с подложкой. Атомарный водород обладает повышенной проникающей способностью через поры металлических материалов без их разрушения . В местах дефектов соединения пленки с подложкой атомарньи водород накапливается и рекомбинирует в молекулярный. При этом парциальное давление атомарного водорода остается низким, а накопение молекулярного водорода в местах дефектов соединения вызывает вздутия пленки. Определяют места вздутий по всей поверхности металлической пленки и по ним судят о наличии дефектов в соединении. При отсутствии дефектов в соединении атомарный водород не рекомбинирует в молекулярный и не вызывает вздутий пленки, что указывает .на хорошее соединение металлической пленки с подложкой. I Пример .На поверхность кремниевой подложки наносят методом термического вакуумного напыления слой медной пленки, толщиной 1 мкм. Подложку с пленкой устанавливают в стеклянную камеру и воздействуют на пленку атомарным водородом под парциальным давлением 3 Па. Атомарный водород получают диссоциацией молекулярного водорода в электрическом разряде с помощью генератора высокой частоты ГВЧ-66, максимальная моищость которого составляет 70 Вт, а рабочая частота 40 МГц, Диапазон рабочих давлений в установке определяется возможностью получения высокочастотного разряда, в котором происходит диссоциация молекулярного водорода,он составляет 30 Па, Для -отделения атомов водорода от заряженных частиц расстояние от разрядника до рабочего объема, в котором размещается подложка с пленкой, составляет 0,2 м. Соединение выдерживают в атмосфере атомарного водорода в течение 5 мин. После воздействия атомарного водорода на медную пленку и его диффузии под пленку определяют места вздутий плен31126846 4

ки, по которым судят о наличии путем обеспечения ввода атомарнофектов в соединении.го газа под пленку по всей ее поИзобретение позволяет повыситьцелостности пленки за счет диффузионнадежность определения дефектов вj ного проникновения атомарного газа

соединениях с металлическими плен-через поры пленки. верхности и исключения повреждения

1.СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В СОЕДИНЕНИИ, вьшолненном в виде подложки и нанесенной на ее поверхность пленки, заключающийся в том,, что вводят под пленку газ под давлением и определяют места вздутий пленки, по которым судят о наличии дефектов в соединении, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности определения дефектов в соединениях с металлическими пленками путем исключения повреждения пленки, используют атомарный газ, a введение его под пленку осуществляют диффузией. 2. Способ по п.1, о г л и ч a ющ и и с я тем, что и качестве атомарного газа использ тот водород. (Л