Легкоплавкое стекло Советский патент 1984 года по МПК C03C3/10 

I Изобретение относится к легкоплавким некристаллизующимся припоечным стеклам и может быть испол зовано в электронной технике для герметизации приборов, в частности вакуумных интегральных схем ВИСу в вакууме с предварительным остекл выванием списываемых поверхностей. Известно стекло, включающее, мас.%: РЬО 71,0-72,0; 12,0-17 с добавкой ZnO, CuO, BaO. Стекло имеет размягч. 400-500 С, т. спаив , КЛТР 75-105. 1/град l. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигае му результату является легкоплавко стекло, включающее, мас.%: РЬО 50-6 8-14; ZnO 12-20; SiOj 8--18; CaO 2-6. Стекло данного состава позволяет производить соединение материалов с ТКЛР 60-85 «10 град в интервале температур 520-550 С 2 Недостатком известного стекла является его склонность к.поверхностной кристаллизации при темпера туре, близкой к 500°С, что делает невозможным предварительное остекл вывание торцовых поверхностей крышек ВИС, Цель изобретения - увеличение герметичн9сти спая. Поставленная цель достигается тем, что легкоплавкое стекло, включающее РЬО, BgO, ZnO, SiOj, CuO, дополнительно содержит АЦО при следукйцем соотношении компонен тов, мас.%: РЬО 43,7-68,8 BjO,9,1-29,1 ZnO1,8-19,6 ,9-14,8 CuO3,6-4,9 AljO, 1,9-8,7 Стекла варят в силитовой печи при и выливают в воду. Полученное стекло измельчают в ящмов ступке и просеивают через сито 006 ГОООО отв./см), затем гото 21 вят суспензию стекла в изоамилаце- тате, которую наносят на торцовые поверхности стенок крьппки ВИС. Обработанные таким образом крышки помещают в трубчатую электрическую печь,нагревают со скоростью З-ЮРс/мин до температуры в интервале 700-80{fC, а затем охлаждают до комнатной температуры с произвольной скоростью. Затем крьппку с остеклованной торцовой поверхностью и остальную часть прибора помещают в вакуумную камеру и нагревают до температур герметизации ВИС, При достижении температуры, лежащей в интервале 490-570°С, весь объем камеры вакуумируют до 10 мм.рт.ст., производят соединение крьщ1ки и ножки прибора с помощью механической нагрузки около 7 кг/см, прикладываемой к крышке, что и обусловливает вакуумноплотное соединение крьшки и ножки прибора. О герметичности корпуса судят по изменению тока накала подогревателя газопоглотителя, измеренного при комнатной температуре в камере установки, как в вакууме, так и после напуска в камеру воздуха при нормальном давлении . Если величина этого изменения не превышает 5%, корпус герметичен, а стеклянный соединительный шов вакуумплотный. В процессе герметизации на узел остеклованная крьш1ка - ножка подает- ся постоянная равномерная механическая нагрузка 7 кг/см и проводится вакуумирование объема камеры до 10 мм рт.ст. Конкретные составы стекол -и их свойства приведены в таблице. Использование легкоплавкого припоечного стекла предлагаемого состава обеспечивает герметизацию ВИС в интервале температур 490-550°С и улучшает качество щва прибора, а следовательно, приводит к снижению брака по натеканию ВИС.

9,8 .14,8

19,6

49,0

61,7

1,9

4,9

ЛЕГКОШ1АВКОЕ СТЕКЛО, включающее РЬО, , ZnO, SlO, CuO, отличающееся тем, что, с целью увеличения герметичности спая, оно дополнительно содержит А120 при следующем соотношении компонентов, мае.%: РЬО 43,7-68,8 9,1-29,1 ZnO - 1,8-19,6 Si02 1,9-14,8 CuO 3,6-4,9 1,9-8,7 g