Фильтр для очистки жидкости Советский патент 1985 года по МПК B01D35/02 

Изобретение относится к области очистки растворов от нерастворим1 1Х частиц, преимущественно пленочного фоторезиста, и может быть использовано в фильтрующих узлах специального технологического оборудования для произв-одства печатных imar, более конкретно в установках снятия фоторезиста.

Известен фильтр для очистки жидкостей, содержащий вертикальньй цилиндрический корпус, последовательно размещенные секции грубой я тонкой очистюи, выполненные в виде Г1шьз,внутри которых расположены перфорированные фильтрующие элементы, устройства ввода и вывода фильтруемой жидкости у .

Недостатком фильтра является кратковременность межремонтного цикла фильтра.

Цель изобретения - увеличение длительности межремонтного цикла фильтра.

Цель достигается тем, что в фильтре для очистки жидкости, содержащем вертикальный цилиндрический корпус, последовательно размещенные секщш грубой и тонкой очистки, выполненные в виде гильз, внутри которых расположены перфорированные фильтрующие элементы, устройства ввода и вьшода фильтруемой жидкости гильзы выполнены с игиливдрическими проточками и расположены по спирали по высоте корпуса под углом к его оси, устройство ввода фильтруемой жидкости выполнено в виде перфорированного размещенного в корпусе стакана, снабженного перфорированным диском, установленным внутри стакана над его днищем.

Диаметры отверстий днища стакана равны диаметрам отверстий фильтрующих элементов, а диаметры отверстий диска равны диаметрам отверстий цилиндрической части стакана, при этом основание корпуса выполнено с конической расточкой, сообщаюа ейся с устройством вьюода ф5шьтруемой жидкости. Цилиндрические проточки гильз сообщены с устройством вывода фильтруемой жидкости.

На чертеже изображено осевое сечение фильтра для очистки жидкости

Фильтр состоит из вертикального щ{линдрического корпуса 1, в котором установлено устройство 2 ввода

1434402

фильтруемой жидкости, выполненное ,

в виде перфорированного стакана 3. Над днищем 4 стакана 3 расположен перфорированный диск 5. Диаметры отверстий в диске 5 и в цилиндрической части 6 стакана 3 равны. Основание корпуса 1 вьшолнено с конической расточкой 7, сообщаюп1ееся с устройством 8 вывода фильтIQ руемой жидкости. На корпусе 1 размещены по спирали по высоте корпуса гильзы .9-11, в которых расположены перфорированные фильтруюп;ие элементы 12-14. Гильзы 9-11 распо. ложены под углом к оси корпуса 1 и вьтолнены с цилиндрическими проточками 15-17, сообщающ11мися с устройством вывода 8 фильтруемой жидкости трубопроводами 18-20. Диаметры отверстий днища 4 стакана 3 равны диаметрам отверстий в фильтрующих элементах 12-14.

Фильтр работает следующим образоМ.

Загрязненная жидкость попадает во внутретдаю полость стакана 3 через устройство 2 ввода, представляющее собой отбортовку цилиндрической части 6 стакана 3. Течение жидкости останавливается диском 5.

При этом частицы фоторезиста по размерам меньшие, чем диаметр отверстий диска 5, проходят в полость под диском 5, попадают на днище 4 стакана 3, где отфильтровываются и через расточку 7 и устройство 8 вывода в систему оборудования попадает очищенная жидкость. Так как пленка снимаемого фоторезиста может иметь при толгдине

40 в несколько микрометров площадь до 0,02 м, отверстия диска 5 перекрываются слоями фоторезиста.Это приводит к тому, чтоуровень лсидкости в стакане 3 начинает подниматься до тек пор,пока не достигнет

гильзы 9. Опять жидкость с частицапи фоторезиста меньшими, чем отверстия в цилиндрической части б стакана 3, пстадает в фильтрующ1ш

50 элемент 12, фоторезист остается во внутренней полости элемента 12, а очищенная жидкос ь через проточку 15 попадает в трубопровод 18, а оттуда в устройство 8 вывода, очи55 щепной жидкости (не показано).После перекрытия-отверстий в гдалиндрической части 6 стакана 3 на

уровне гильзы 9 последовательно к

31

работе подключаются гильзы 11 и 10 с фильтрующими элементами 14 и 13. При этом через днище 4 стакана 3, расточку 7, устройство 8 вывода, .фильтрующий элемент 12, проточку 15, трубопровод 18, а далее по мере заполнения стакана 3 и через элемент 14, проточку 17 и трубопровод 20 осуществляется дренаж жидкости.

1434404

оставшейся между слоями фоторезиста. Помере заполнения стакана 3 он демонтируется из корпуса 1- и очищается от осадка. Аналогично с демонтируются из гильз фильтруюпще элементы.

Экономический эффект достигается за счет увеличения длительности межремонтного цикла фильтра.

1. ФИЛЬТР ДЛЯ ОЧИСТКИ ЖИДКОСТИ, содержащий вертикальньш цилиндрический корпус, последовательно размещенные секции грубой и тонкой очистки, выполненные в виде гильз, внутри которых расположены перфорированные фильтрующие элементы, устрюйства ввода и вьгоода фильтруемой жидкости, отличающийся тем, что, с целью увеличения длительности межремонтного цикла фильтра, гильзы выполнены с цилиндрическими проточками и расположены по спирали по высоте корпуса под углом к его оси, устройство твода фильтруемой жидкости выполнено в виде перфорированного размещенного в корпусе стакана,снабженного перфорированным диском,установленным внутри стакана над его днищем. 2.Фильтр поп.1,отличающ и и с я тем, что диаметры отверстий днища стакана равны диаметрам отверстий фильтрующих элементов,а диаметры отверстий диска равны диаметрам отверстий цилиндрической части стакана, при этом основание корпуса выполнено с конической расточкой, сообщающейся с устройством вьшода фильтруемой жидкости. (Л 3.Фильтр по П.1, отличающийся тем, что цилиндрис: ческие проточки гильз сообщены с устройством вьшода фильтруемой жидкости. со 4 4

fO

fS

s