Станок для шлифования и доводки плоских заготовок, например, пластин из полупроводников Советский патент 1958 года по МПК B24B37/04 B24B51/00 

Станки для ш,1ифов;и-11:;Я i лспзодки и/юсчих лаготозок. помощаеN,b:x в сепараторе между двумя дисковыми, о BepTiiKii.ibHbiMii осями 1 лифо :альннкалги, из котп;р1)х 1ппинде;1ь зсрчпс -;) укреплен на трепоге, ii3;:cciiibi.

С)тличнте- ышГ| особенноегыо 1;;ед, аг;1ели;;ч) .танка loio же ткпа в.:яет:: установка киждо;; оноры трсно; :: Н11 и:деля ;чрхне Ч) 1)лифовальника на подъемном, например, гидравлическом пнликдре. снабжен;ол1 со сторюны наг ;етання клапап ным запором е э.чекгр.с.магаитны:.г нриводом, управляе./ым одни;м из трех датчиков, контрол;1рующих положение верхнего шпинделя в пространстпс. Такое вьнолненяе предлагае ого станка обеспечивает приведение верхнего днсксвого шли(Ьсва, ьнИка в исходн ое положение в случае отк.таг.еним от пос.чедиего, и результате чег(; сохраняется нарал.те.чьпость между рабочими поверхноет ями с-боих ьплифова.пьппков, а, следовательно, ;и)стигается ,кяя нараллельиоеть о-брабатываемых поверхпостой загот; вки.

Предлагаемый станок схематически ноказан на фпг. I, а на фпг, 2 дана его э.чектрическая схема.

Предлагаемый станок имеет два вращаклнихся д:-1сковь х 1н,-П1форалЬ) 1 и 2. вертикальные оси 3 и 4. вран .енг.я которых смен1ены одна относительно другой. BepxHwii иглифова.пьпик / имеет нпзможность онускаться тю мере обрабОтки пласгин и дзноса Н1.)0 5альников. 1П::;-:: дель верхнего н.ЧИфовальпика / ук1)еплеп на треноге .), каждая oiifjpa KOTOp.oii устансвле-на на независимом подъемном меха.пнзме , г:а:ример, гидрав-ическом. Каждый подъемный мехапнзм представляет собой гидродилнндр, установленный на станиг.е и снаб кенный со стороны нагнотанп-я к.тапанньга запором 7 с -;.- ект1Н)магпитным приБ:-;ОМ S.

№ 115045

Между ш,лифовалы1икам(-; 1ЮМеш,ен сеп.аратор 9, оовгрииасщий возвратно-поступательные двкжекпля параллелько плоскости нижнего шлифовальнкка 2. В сепараторе имеются гнезда для гюмецекня обрабатываемых пластин.

Для :непрерывного onperi,.H отклонения положения с-си 3 йпащения верхнего шлкфовальника , и автюматического -риведенггя оси в заданное положение приманена систем)а из трех датчиков 10 (на фиг. 1 третий датчик ие показан), например, индуктивных, ориентированных рабочим поверхностям обоих плифовальнико-з ряюилих зазОры ;, 2- -V-,- При равенстве всех трех Д,::-;.А,: Д.. рабочзя позерхн-ость верхнего и лнвайальн1:ка / 1;араллельна рабочей поверхностп нижнего шлифоЕаль1 ика 2.

Индуктивность каждспо датчика 10 входит в колебгтельньнч :-:odтур генератора // (фиг. 2). Частоты трех гег ераторсв по две сразниваются в трех фазогравкителях 12, iia выходе которых вчлючеиы три поляризованных реле 13. Прс-: н.омозди фазой ащг-нопих цепочек 14 достигается .,ополнителычый сдвиг фаз на 3(г так. чтс еслн обе сравниваемые частоты одинаковы и вза:нм;10 сдвинуты по ив 120, реле 15 находятся в нейтральном положении. Прн кзлшнении о)азы одной нз частот догюлките.аьно до±90 реле замыкают контакт jj одну г-;и другую сторону. Как нетрудн10 проследить (сжг. 2) j:o6oe оасеоглаоование фаз ;i, Ь, f;: частот генераторов приведет в действие соответствующие уиравляюндае приводы 5, которые действуют на систему подъема опор треноги н уравнивают величины зазора .i,, 2.-зПри в арун1ении р авечства А, г л., один или два к.;аг:аниых запора 7 открывают путь нагнетания жидкости в ссответстзуюи1,ие гид1;он::лиидры. При ЭТОМ положение треноги S нростраистве изменяется таким образол, что ось верхнего шиинделя Еозвраи,ает:я в исходное иоложепие. а з;;зоры ,-,. и Л;; уравниваются.

В ирсд,|агаалюм станке может быть приг.-снено для непрерывного сл:ределен1: я то.Л ци;1Ы к.дастин с оыключсннем станка : эй достиже, заданного размера известное устройство, иредставляюи.е из двух DOTa,;cTpoB (i CEMa-THi-ecjcrv /;.:1иизмероз), соила которых ;б л 17 иеподвижио раснолагаюгся иротрю рабочих иозерхиосте/ч Ki,iu;iij;ia:: никоз J н J с определен:1ыми зазоэами. Ве.ичииь: этих зазоров подбираются ири настройке стайка ю эталонным п;:астии ;аг,, ::о:;-с;цаемым р.:ежду шлифовальиикгми. Настройка осугиествлпется так, чтоб;. ,луч света осветителя 18 находился непосредственно под лсилазтюм 19, а ллч света осветителя 2Q-нег1эсредствсИ);о 1;ад понлавком 21. -/кгзанная настрО ка соответствозала бы моменту зык;ночеиия стаака. если бы нижний и.лифовальник 2 в нродессе 1)аботв1 г:с иетиралгя.

О игко по т-есе истилач-тя нижнего итифова.чьника 2 подымаюигйс ; ;3 :;;азок 2 ис:ссе к: -;уч -осветителя 20, чем ;и;зсзет вклчочские мелп:., иер1: С1м,аюи1его фотосопротивления 22 и 2,1 с жес -;;;; е иза;:пыми с ними осветителями. При этом сЬотосонротизлеи осгс гите,, /8 (1пус;-;я отгг| -.ИИ:, гто ко и:нсирует ист1фгии(} игикиего 1п;;и: опал1-ни са. В ире,1.1 пгаемо:т стайке зказаиИое ие1)см.е:дсиие - Миолняет гидросистема, работаюп;ая по прини,ину сооб1паюн1,ихеи сосудов. Канал нх еообихения снабже клананным запором 24 с злектромагнн1;-1ым нриводом 25. Один Т13 ниллидроз 26 нагружен IIOCTOJIKHO действуюни1м грузом 27.

Прн работе, когда Имеет место т стирание рабочей нове 5хноети нижнего гнлифоаальника 2 и, следовательно, ноплаиок соответствующего ротаметра пересекает луч света, затемненное фотосонротивление 23

подает сигнал ка э.чектромагнгпныи 1 ривод i;,;u:n;iH iOJ() ч .трои,ства. Это приводит к открыванию кЕма.ш сообн1. гидроцилиндров и перетеканию жидкости из нагруженного грузом цилиндра во второй цилипар; тогда луч света, вверх. обго1гит поплавок того же ротаметра, клапапньп зано) нерб- рс-бт ivaHa.i сообщенИя гидроциляндров и лу света осветите,;; 18. командуюищ :шк::Ючснием станка, окажется смен1,енным в ::;Вэе нижнее по гокенас, то-ость станок при пересеченни луча ноплавко ; 19 выключится позднее.

Абоазив в виде э:|ульс.ии : одаетс.5: от смесителя на сепаратор, киторый при своем движении заноситчастниь абрйзива в зону обработки.

Предлагаемый станок может быть грименен в частнэстп д;;я о5pa6oT,U небольших тонких хрупт-их пластинок |-срма; пя с высокой CTeneiH:.ho т-очноетк.

Станок ДЛ51 ит1кфо1;а1Н я м доводки плоских .:к, например, плаетин из гюлунрозодников, поменшемых в сенараторе между двумя дисковыми с вертикальны},: сслч;;: ньлифоБа.тькиками. из которых шпиндель верхнего укреплен на ту ечоге. о т л и ч а 0 их к ;с ;-: тем. что, с ue,iibio аи,соматического гризсделкя оси верхнего дкско,н;;о плифова,1ьннка в игходиое ве1)тпка,;)и:ое .ен;;е, в с-укгч ее .угк.юнсния от rK)C,,u;iero м сохнаиен:;;,: :х;;Г: :1за,1,1с Нзлое::; абочнми но; ерх;;ОстЕ,и1 обоих ;.нл:--ф:::;и,;;,н;:КОБ. хс/к:ии: ОЮра ;реноги шпииде-чи верхнего ;n.:i,:i(hoBa,TbHiiKa :7КНО:2лена гч 1:одъемнс-м. напри ;ер, гидравличес::;М инл;1};дрс, сх:ас:Кеином со Cl ,,; нагнетания клаианн11;м занором с э,: ектрсмаг;н1 л;ым приводов;, унравтнемым одним нз трех датчиков. конт1;о,пппчон;,их .к;;;о:. иеохкегс и;нииде, г, нространетве.

iil::.I -.,. ,. 1

ji X ii .-J-;TT,,ij

f fi ,:. M 7П .--1 I

/.-- -- : / /

; ,/ j,---; / f -r riniTT

- -u:-::. I |Д

, .

-/ж-у;г /Г/, W V4

wr