Состав для активирования диэлектриков перед химическим меднением Советский патент 1985 года по МПК C23C18/30 

S ni

Од

I11643111

Изобретение относится к подготовке Данньй состав используется до полдиэлектриков перед химическим медне- ной выработки в течение 1,0-2,5 мес нием, в частности к составам для акти- и может быть подвергнут регенерации, вирования.например, путем перегонки.

Целью изобретения является сокра- s Изобретение иллюстрируется следующение времени обработки и повьшение щими примерами, представленными в стабильности состава.табл. 1 и 2.

Таблица 1

1. СОСТАВ ДЛЯ АКТИВИРОВАНИЯ даЭЛЕКТРИКОБ ПЕРЕД ХИМИЧЕСКИМ МЕДНЕШЕМ, содержащий соединение одновалентврй меди, координирующий растворитель, соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени обработки и повышения стабильности состава,, он в качестве соединения одновалентной меди содержит фенилацетиленид меди при следующем соотношении компонентов; Фенилацетиленид меди, г3-10 Соляная кислота

Фенилацетиленид меди,

Соляная кислота (37%-н раствор), мл

Координирующий растворитель, Л1 ацетон

эфир

ацетонитрип диметипсульфоксцц диметилформамид

Этиловый эфир этиленгликоля, л

Гипофосфит натрия, г Однохлористая медь, г Условия обработки, свойства состава 53 Время обработки, мин 20 50 Температура, С Стабильность при хране612нии, мес. Время использования до полной выработки при загрузке 10 , мес. 1 1,3

10

До 1

До 1

До 1

До 1 0,075

0,95 . 15 -40

Таблица 2

Прототипizim Показатели по примерам 0,5 0,3 7 40 50 50 ,5 2,5 0,5 Использование в качестве соединения одновалентной меди фенилацетилен да в неводном координирующем растворителе позволяет в процессе активиро вания поверхности совмещать операции обезжиривания и травления, что обеспечивается хорошей растворяющей способностью растворителей и подтравливающим эффектом за счет проникновени молекул растворителя между цепями полимера. Процесс активирования обеспечивается способностью образующихся комплексов типа SolHalCu-C C-Ph, где Sol - координирующий растворитель;Hal т галогенид-анион Ph - фенол, . внедряться в поверхность полимера за счет адсорбции и диффузии. Состав готовят путем добавления раствора соляной кислоты к суспензии фенилацетиленида меди в координирующем растворителе при нагревании и перемешивании. Состав рекомендуется использовать при 20-50°С,, что обеспечивает наибол шую скорость процесса активирования. Время обработки должно составлять не менее 0,3 мин для обеспечения эф фективного активирования и не более 5 мин для исключения набухания диэлектрика. Предлагаемый состав рекомендуется использовать при следующем способе обработки диэлектриков (пластмасс). Подложку из пластмассы, например СТЭФ-1, в течение 1 мин обрабатывают в предлагаемом составе для активирования, после чего высушивают и в течение 1 мин обрабатывают в водном растворе восстановителя, содержащем г/л: NaBH4 1 NaOH 50 0,001 а затем в течение 3 мин в растворе акселерации, содержащем: Фо рмалин (40%-ный раствор), мл 150 NaOH, г/л300 Тиомочевина, г/л 0,001 На подготовленную подложку в растворе химического меднения наносят медное покрытие. Для меднения может быть использован раствор состава: CuS045 HgO, г/л 14 НгО, г/л 4 NaOH, г/л28 , г/л 40 Формалин (40%-ньй раствор)J мл/л 40 Испольэованне состава для активирования по описанном способу позволяет сократить индукционный период до Oj03 мин и повысить начальнуто скорость химического меднения до -7 / 7 55-10 мг/минСМ .