Устройство для нанесения покрытий на изделия преимущественно из кварца Советский патент 1985 года по МПК C03C17/245 

5 76

4

Изобретение относится к области получения материалов особой чистоты, в частности, германия.

Целью изобретения является повышение чистоты покрытий.

На фиг, 1 приведена схема устройства для нанесения покрытий на изделия из кварца с контейнером; на фиг. 2 - то же, без контейнера; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1.

Устройство содержит камеру 1 с роемом для загрузки изделий, систему удаления газообразных продуктов, состоящзто из трубок 2, служащих одновременно направляющими для перемещения изделий, имеющих отверстия 3 для вьшода газов, штуцеров 4 для подачи продувочного газа и 5 для вывода газов из камеры 1, узел нанесения покровного слоя, содержащий горелку 6 со штуцерами 7 для ввода реагентов, съемньй контейнер 8с манипулятором 9 и штуцером 10 для ввода продувочного газа, расположенными вне камеры 1, механизм 11 п еремещения изделия 12, выполненного в.,виде лодочки, нагреватель 13 с механизмом 14 перемещения, выполненHi с возможностью горизонтального перемещения вдоль оси камеры 1 и урт новленный вне камеры, выдвижные п атформы 15 с бачками 16 для реагентов, подаваемых в горелку 6, и бач 17 для поглощения отводимых , шток с крышкой 18. .

Устройство работает следующим образом.

Лодочка 12, подлежащая покрытию, доставляется в герметичном контейнере 8, с него снимаетсй крьш1ка (не показана) и он стыкуется с камерой 1 Через штуцеры 4 и 10 в систему подается инертный газ для продувки камеры 1 и контейнера 8, который выводится через отверстия 3 по трубкам направляющих 2 и далее через штуцер 5 в поглотительный бачок 17. С помощью манипулятора 9 лодочку 12 вталкивают в камеру 1, после чего контейне 8 снимают вместе с манипулятором 9, на открытый конец камеры 1 устанавливают крышку со штоком 18, шток соединяют с лодочкой 12 и повторяют про,дувку камеры 1 инертным газом. После отвода пустого контейнера фон загряз нения в нем (и в камере) не повышается, поскольку непрерывная подача инертного газа, вплоть до закрытия

сосуда, препятствует попаданию в нег окружающего воздуха.

В том случае, когда лодочку 12 надо покрыть пироуглеродом (ПУ), ее проталкивают штоком при помощи механизма 11 в рабочую зону нагревателя 13, нагреватель включают и через горелку 6 подают углеродсодержащий газ.

После вьщержки по заданному режиму нагреватель 13, не выключая его, отводят от камеры 1 с помощью механизма 14. Лодочку перемещают в холодный конец камеры 1, снимают крышку со штоком, устанавливают контейнер 8 проводят продувку его инертным газом лодочку 12 переводят манипулятором 9 в контейнер 8. Последний отсоединяют, торцевой крышкой (не показана) и направляют на склад. Доставляют очередной контейнер с новой лодочкой, подлежащей покрытию, и операции повторяют. Поскольку нагреватель 13 не выключался, то его надвигают на камеру 1 в горячем состоянии, что позволяет экономить время на разогрев.

В том случае, когда лодочку надо покрыть аморфной двуокисью кремния (SiOj), в горелку 6 подают реагенты из бачка 16 и газового блока, горелку 6 поджигают на воздухе и устанавливают на камеру 1. Камеру продувают инертным газом. Под факелом горелки 6 в заданном режиме перемещают лодочку 12, на которой оседает слой двуокиси кремния. Для отжига покрытия лодочку помещают в рабочую зону нагревателя 13, где происходит остекловывание слоя двуокиси кремния.

Выгрузку лодочки производят так же, как и после покрытия ПУ.

Повьш1ение качества и чистоты покрытия достигается тем, что механизированное перемещение лодочки осуществляется плавно с постоянной скоростью, лодочка,подготовленная к покрытию, а затем покрытие лодочки хранятся в герметичных контейнерах, процесс покрытия осуществляют в герметичном, объеме, выгрузку лодочек ;|производят без контактирования их с окружающим воздухом.

Высокая производительность достигается механизацией манипуляции и

11714414

поддержанием печи в горячем состоя-пяттгтм г,

-НИИ. а .акже „„.ь™,„е„ „„„а год-Г а йГ ™™

НОГО продукта.орипапы,

Удобства и безопасность эксплу- IT. пленкой из ПУ и SiO, , атации достигаются тем, что все one- повысить чистоту примес ° ого фона с 5-10 до 2 -10 смЗ .

Зонная плавка германия в лодоч

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ИЗ КВАРЦА, содержащее камеру с проемом для загрузки изделия, установленный с возможностью перемещения нагреватель, узел нанесения покровного слоя, приспособление для перемещения изделий и систему удаления газообразных продуктов, отличающееся тем, что,- с целью повьппения чистоты покрытия, оно снабжено съемным контейнером с манипулятором, расположенным вне камеры, система удаления газообразных с продуктов выполнена в виде трубок, служащих направляклцими приспособлеСО ния для перемещения изделия, вьшолненного в виде лодочки, а нагреватель установлен снаружи камеры с возможностью горизонтального перемещения вдоль ее оси.

Фиг.З