Средство для очистки твердой поверхности Советский патент 1985 года по МПК C11D7/08 C11D7/08 C11D7/32 

1 Изобретение относится к технологии обработки полированных неметаллических материалов, в частности кристаллов ниобата лития, применяемых в качестве подложек для изгото ления элементов оптико-электронных приборов.. Известен состав для очистки твер дой поверхности, содержащий ортофос форную и ледяную уксусную кислоты и окислитель п-бензохинон, при следующем соотношении компонентов LJJ вес.%: п-Бензохинон3-7 Ортофосфорная кислота0,4-10 Ледяная уксусная кислотаДо JOO Однако этот состав не обеспечивает достаточного качества очистки кристаллов от органических и неорга нических загрязнений. Кроме того, ледяная уксусная кислота обладает большой летучестью, что усложняет процесс очистки. : Известен состав для очистки стек ла. ,называемый хромовой смесью, со держащий дихромат калия или натрия и концентрированную серную кислоту Состав обладает хорошими моющими свойствами 2J. Однако состав является коррозион ным по отношению к кристаллам ниобата. лития, Йзвесте н. состав для очистки пов.ерхности стекла, содержащий воду, плавиковую и соляную, серную или азотную кислоты при следующем соотношении компонентов, вес.%: Плавиковая кислота J-25 Соляная, серная или азотнаякислота 0,5-2 Вода .Остально Состав обладает хорошей растворяющей способностью по отношению к органическим и неорганическим загряз нениян 3 J. Однако очистка поверхности ниоб та лития этим составом приводит к разрушению поверхностного слоя кристалла. Появляются мелкие дефек ты в виде светящихся точек (протра вок). Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является состав для очистки твердой поверхности, содержащий плавиковую и орт фосфорную кислоты и сульфонатное ПАВ C4j. 2 2 Однако при использовании этого состава качество очистки снижается, на то указывает увеличение угла смачивания поверхности водой (метод капли). Цель изобретения - повышение.качества очистки поверхности. Поставленная цель достигается тем, Что средство для очистки твердои поверхности, содержащее плавиковую и ортофосфорную кислоты и поверхностно-активное вещество, в качестве поверхностно-активного вещества содержит акриламид при следующем соотношении компонентов в об.%:. , Плавиковая кислота 40-48 Ортофосфорная кислота. 40-48 Акриламид . До 100 Проведены испытания нескольких рецептур предлагаемого средства в сравнении с известным. Данные приведены в табл.1, Пластины ниобата лития, обезжиренные и очищенные по традиционной технологии, взвешивают с точностью до 1 г и обрабатывают в свежеприготовленном составе для очистки в течение 30 мин при комнатной температуре, после чего промывают дистиллированной водой и протирают обезжиренной батистовой салфеткой. 4i3cтоту поверхности пластины после хи-мической обработки изучают под микроскопом и контролируютПО изменению веса. Kai4ecTBO очистки поверхности определяют также по углу смачивания методом капли. Изменение весовых значений пластин до и после обработки фиксируют в абсолютных значениях, так как пластины однотипны: по форме и площади поверхности. Результаты экспериментальных дан-i ных сведены в табл.2. Увеличение содержания акриламида вьш1е максимального предела увеличи- . . вает краевой угол смачивания ввиду замедления растворения органических и неорганических загрязнений кислотами-. Уменьшение содержания акриламида ниже минимального предела способствует появлению точек травления так как не обеспечивается защита поверхности от коррозионного воздействия кислот.

311744724

Из приведенных данных табл.2 видг очистки кристаллов, позволяет исно, что использование акриламидаключить растравливание поверхностного

способствует активизации процессаслоя иповысить чистоту поверхности.

Таблица I

СРЕДСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ТВЕРДОЙ ПОВЕРХНОСТИ, содержащее плавиковую и ортофосфорную кислоты и поверхностно-активное вещество, о тличающееся тем, что, с целью повышения, качества очистки поверхности, средство содержит в качестве поверхностно-активного вещества акрил амид при след тощем соотношении компонентов, об.%: Плавиковая кислота40-48 Ортофосфорная кислота40-48 Акриламид До 100

40

35

Плавиковая кислота

Ортофосфорная

40

35 кислота

48

50

.45

45

48

49

45

45