Вакуумный затвор Советский патент 1985 года по МПК F16K3/02 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумной коммутационной аппаратуре, и предназначено для использования в высоковакуумных системах технологического и научного оборудования. Целью изобретения является повышение надежности за счет того, что рама выполнена с возможностью перемещения вдоль оси проходных отверстий, что не требует дополнительного герметизированного ввода движения для подачи энергоносителя. На фиг. 1 представлен вакуумный затвор в разрезе; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б фиг. 1; на фиг. 4 - разрез В-В на фиг. 2; па фиг. 5 - разрез Г-Г на фиг. 3; на фиг. б - разрез Д-Д на фиг. 3. Затвор состоит из герметического корпуса, образованного основаниями 1 и 2 с проходными отверстиями 3 и проставкой 4. Внутри корпуса размещена рама 5 с отверстием 6, в направляющем продольном пазу которой расположен уплотнительный диск 7 с прокладкой 8. Рама 5 установлена с возможностью качания на оси 9, закрепленной на основании 2, и имеет винтовой упор 10 и штырь 11 с пазом 12. Между рамой 5 и основанием 2 на осях 9 и 13 размещены элементы отжатия, выполненные в виде пружин 14. Механизм поворота рамы 5 герметично укреплен на проставке 4 и представляет собой изогнутый по окружности упруго-деформированный трубчатый элемент 15 (трубка Бурдона), подвижный конец которого вставлен в паз 12 штыря 11. Внутренняя полость неподвижного конца элемента 15 соединена с источником управляющего давления (не показан). Механизм герметизации состоит из четырех пневматических сильфонных домкратов 16, размещенных между основанием 1 и рамой 5 и соединенных трубками 17 с полым трубчатым кольцом 18, которое расположено в пазу основания 1 и сообщено через герметично укрепленную трубку 19 с источником давления (не показан). Затвор работает следующим образом. При открытии затвора давление сжатого воздуха в сильфонных домкратах 16 снимается и пружины 14 перемещают поступательно вдоль осей 9 и 13 раму 5 с диском 7 от уплотнительной поверхности основания 2 до образования гарантированного зазора между прокладкой 8 и основанием 2. После этого полость трубки 15 соединяют с источником сжатого воздуха и подвижной конец трубки, воздействуя на штырь 11, поворачивает раму 5 вокруг оси 9, заставляя диск 7 перекатываться по направляющему пазу рамы и тем самым полностью освобождая проходные отверстия 3. При закрытии затвора давление сжатого воздуха в трубке 15 снимается и она, воздействуя силой собственной упругости, поворачивает раму 5. При этом диск 7, перекатываясь, перекрывает отверстия 3, после чего полость домкратов 16 соединяют с источником сжатого воздуха и они, перемещая раму 5 поступательно, герметизируют затвор.

Фиг.З

ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР, содержащий корпус с проходными отверстиями, в котором размещена в плоскости, параллельной оси проходных отверстий, с возможностью качания под действием привода на закрепленной в основании корпуса оси рама с уплотнительным диском, свободно перекатывающимся по направляющим, выполненным в раме, механизм герметизации уплотняющего диска и исто.чник управляющего давления, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности, на основании корпуса установлены элементы отжатця, а рама размещена между механизмом герметизации и элементами отжатия с возможностью перемещения вдоль оси проходных отверстий. (Л ;о о to

П

Л151ТТТ

ФигЛ

fc.5

Фи1.5

15 /