Вакуумная камера Советский патент 1986 года по МПК B25J21/02 

1

Изобретение относится к машиностроению, а именно к вакуумным камерам с контролируемой атмосферой внутри камеры.

Цель изобретения - повышение надежности герметизации камеры.

На чертеже изображена вакуумная камера (фрагмент).

Вакуумная камера имеет фланец 1 с центральным отверстием и установочным гнездом, в KOTop.oNf р:й:положены перчатка 2 и кольцо 3 Для ее крепления, поджатое пружинами 4 к шайбе 5, снабженной равномерно размещенными по окружности винтами 6, контактирующими с кольцом 3. Между фланцем и кольцом

5 Для замены перчатки 2 необходимо вывернуть винт 6, под действием пружин 4 кольцо 3 отжимается к шайбе 5 и освобождает перчатку. Перчатку вынимают вместе с упругим элементом 7 10 и разъединяют их. Установку новой перчатки осуществляют в обратном порядке. При вакуумировании производят одновременную откачку воздуха из полости камеры и из полости перчатки 2 че- 15 рез канал 12 щайбы 5, соединенный с полостью камеры (соединение не показа но) . Герметизацию полости перчатки 2 обеспечивают уплотнениями 10 и 11.После создания в полости камеры требуе3 образована изменяющаяся по высоте

полость, в которой установлен упругий20 мой степени вакуума канал 12 перекрыэлемент 7 (резиновое кольцо), оберну-вают, а полость камеры заполняют ратый краем перчатки 2. К шайбе 5 под-бочим газом, например аргоном. Ценжата центральным винтом 8 часть 9 сбор-тральным винтом 8 часть 9 крьш1ки выной крышки, образующая с этой шайбойводится из сопряжения с шайбой 5 и пе и перчатками замкнутзто полость. Шайба25 ремещением второй части 13 крышки на

5 t двух сторон имеет вакуумные уплот-штифтах 14 отводится в сторону.

225492

нения 10 и 11. В шайбе 5 выполнен ка- нал 12, соединяющий полость перчатки с системой вакуумирования {не прказа- на) , .

5 Для замены перчатки 2 необходимо вывернуть винт 6, под действием пружин 4 кольцо 3 отжимается к шайбе 5 и освобождает перчатку. Перчатку вынимают вместе с упругим элементом 7 10 и разъединяют их. Установку новой перчатки осуществляют в обратном порядке. При вакуумировании производят одновременную откачку воздуха из полости камеры и из полости перчатки 2 че- 15 рез канал 12 щайбы 5, соединенный с полостью камеры (соединение не показано) . Герметизацию полости перчатки 2 обеспечивают уплотнениями 10 и 11.После создания в полости камеры требуе12

Ю

ВНИШШ Заказ 1657/18

Лишал ШШ Патент, г.Ужгород, ул.Проектная, А

Тираж 1031 Подписное

д 111 |И| II IB I ИИ I L.