ВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ Советский патент 1972 года по МПК F16K1/34 F16K11/18 F16K41/10 

Изобретение относится к запорной арматуре, применяемой в высоковакуумной технике.

Известны высоковакуумные вентили с перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума для систем сверхвысокого вакуума с двумя сильфонами клапанами, укрепленными и подвижными от самостоятельных приводов.

Предлагаемый вентиль отличается тем, что канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.

Кроме того, в вентиле установлена крышка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов.

Применение вакуумных вентилей позволяет в период запуска двустенной камеры производить откачку всей вакуумной системы одиим насосом, предназначенным в дальнейшем для создания защитного вакуума.

Па фиг. 1 изображен предлагаемый вентиль в разрезе, общий вид; на фиг. 2- схематически изображена установка вентиля на двустенной камере.

фланец для установки вентиля на камере и патрубок для подсоединения к системе откачки, фланец с центрирующим буртиком для установки корпуса 6 с механизмами управления клапанами и место для установки крышки 7 герметизации. Герметизация осуществляется при помощи металлической прокладки. Вакуумная плотность при перемещении клапанов 2 и 3 обеспечивается стальными сильфонами 8 и 9. Сильфон 9 одной стороной при помощи вакуумной сварки соединен с крышкой герметизации, другой - с корпусом W клапана 3. Сильфон 5 одной стороной- с корпусом 10 клапана 3, другой - со

штоком 11 клапапа 2. Запирание вентиля осуществляется вдавливанием медных клапанов 2 и 3 ъ седла корпуса 1. Перемещение клапана 2 достигается движением штока при вращении гайки 12, перемещение клапана 3 -

кольцом 13 при вращении винта 14. Кольцо тремя тягами 15 жестко соединяется с корпусом 10 клапана 3. Для уменьшения сил трения, установлены шарикоподшипники 16 и 17. Необходимая центровка, направленность движения клапанов 2 и 5 обеспечивается направляющими штока и тяг в корпусе 6, который, в свою очередь, центрируется относительно седел корпуса 1 на кожухе.

ной системы камеры в период запуска, в дальнейшем при закрытом клапане 3 производит откачку только из полости между камерами, т. е. создает защитный вакуум в двустенной камере. К патрубку 19 подсоединяется другая откачивающая система, которая производит откачку рабочего объема двустенной камеры при открытом клапане 2 и закрытом клапане 5.

Предмет изобретения

1. Вакуумный вентиль для систем сверхвысокого вакуума с двумя перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума клапанами, уплотненными сильфонами и подвижными от самостоятельных приводов, отличающийся тем, что, с целью получения чистоты вакуумирования, канал рабочей полости отделен от полости защ-итного вакуума корпусом с седлом под затюрный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.

2. Вентиль по п. 1, отличающийся тем, что в нем установлена крышка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмо.м запирания клапанов.