Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере Советский патент 1959 года по МПК C23C16/46 

В известных способах нанесение сублимированных пленок (люминСсцирующих и нелюминесцирующих) производят периодическим впуском в горячую камеру твердых веществ при непрерывном потоке газоз. Однако при этом способе нельзя получить равномерную по структуре и толщине пленку по всей поверхности подложки.

В предлагаемом способе этот недостаток устранен путем осуществления периодической химической реакции в газовой фазе. Для осуществления предлагаемого способа находящиеся в камере-реакторе (она может быть одновременно колбой для электрО1 ноллучевой трубки) подложку и твердые вещества непрерывно нагревают до заданной температуры; одновременно из камеры-реактора откачивают воздух. Как только давление в камере начнет возрастать, перекрывают кран на линии камера-форвакуумный насос и затем кратковременно открывают кран на линии камера-газ. В камере-реакторе происходит химическая реакция между газообразными веществами, а выделяемый при этом продукт с малой упругостью пара равномерным слоем осаж дается по всей геометрической поверхности подложки. На этом цикл заканчивается.

Количество указанных циклов зависит от заданной толщины пленки, объема и температуры камеры, температуры подогревателя и количества испаряемого вещества.

Активатор желательно вводить после нанесения пленки.

Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере, отличающийся тем, что, с целью получения равномерного покрытия по структуре и толщине, исходные газообразные вещества впускают в камеру-реактор периодически, при непрерывном нагревании подложки и твердого вещества.

Предмет изобретения