Устройство для нанесения фоторезиста на пластины Советский патент 1986 года по МПК B05C11/02 B04B5/00 

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий с помощью центробежной силы и может быть использовано для нанесения светочувствительного слоя (фоторезиста) на пластины при фотолитографии.

Цель изобретения - повышение надежности крепления пластины и качества покрытия.

На чертеже изображено устройство для нанесения фоторезиста на пластины.

Устройство содержит гильзу 1,сборник 2 фоторезиста, оправку 3 с вакуумной полостью 4 и отверстиями 5, привод вращения оправки 3, состоящий из электродвигателя 6 и ременной передачи 7.

Гильза 1 по периферии выполнена с вертикальными каналами 8, каждый из которых на одном конце соединен со штуцером 9 для подачи сжатого газа, а с другим - с эжектором, состоящим из втулок 10 и 11, боковым отверстием 12 соединенным с полостью оправки 3. Канал 8 за эжектором заглущен заглущкой 13 и заполнен пористым фильтровальным материалом 14, причем гильза имеет боковые отверстия 15 для соединения с атмосферой.

Устройство работает следующим образом.

Пластину устанавливают на торец оправки 3. Через штуцер 9 по каналу 8 на эжектор подается сжатый газ. Пройдя через

0

5

втулки 10 и 11 эжектора и заполнитель (материал) 14, газ выходит через отверстия 15 в полость сборника 2 фоторезиста. При этом в полости 4 создается разрежение и пластина через отверстия 16 присасывается к оправке 3. Одновременно включается двигатель 6 через передачу 7, вращаюш,ий оправку 3, и на поверхность пластины наносят дозу фоторезиста. Под действием центробежной силы фоторезист растекается по поверхности пластины ровным слоем. При этом избыток фоторезиста, стекающий с пластины, отбрасывается на стенки сборника 2 потоком воздуха из отверстий 15. Затем двигатель 6 отключается и прекращается подача газа к штуцера.м 9. Пластина удаляется и цикл можно повторить.

Предлагае.мое устройство обеспечивает более надежное крепление пластины к оправке, особенно на различных скоростях вращения оправки, причем подаваемый па обратную сторону пластины воздух через фильтр повышает прецизионность процесса и снижает уровень шума. Кроме того, значительно снижены энергозатраты на процесс нанесения фоторезиста, так как крепление пластины и защита ее тыльной стороны производятся от одного энергоносителя. Наличие только одного электроприво,а,а упроп;,ает также и систему управления, так как отпадает необходимость в синхронизации работы двух приводов.