Электронный микроскоп Советский патент 1986 года по МПК H01J37/26 

Изобретение относится к электрон- но- оптическому приборостроению, в частности к злектронно- зондовым уст- ройствам для наблюдения.и регистра ции изображения, например к электрон- нь}м микроскопам просвечивающего типа

Целью изобретения является повЫ шение информативности исследований, проводимых с помощью электронного микроскопа, за счет ускорения цикла фоторегистрации электронного изобра- жения и снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пупком высокой энергии..

На чертеже изображен предлагаемый микроскоп.

Электронный микроскоп содержит размещенные соосно источник 1 электронов объективную линзу 2, столк 3 объек- тов, промежуточную линзу 4, проекци онную линзу 5 с магнитопроводом 6, отклоняющую систему 7 и экран 8 фото- регистрации. В непосредственной близости от экрана фоторегистрации под углом к нему установлен экран 9 визуального наблюдения, причем наклон экрана визуального наблюдения обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несзгщего изображение объекта.

Устройство работает следующим образом.

Источник 1 электронов создает электронный пучок, который проходит через объективную линзу 2, формирую щую электронное изображение объекта, находящегося на столике 3 объектов, .промежуточную линзу 4, проекционную линзу 5 и отклоняющую систему 7, осу шествляющие проецирование, увеличенного изображения на экраны фоторе- гистрации 8 к визуального наблюдения 9. При этом при выборе участка объекта и фокусировке отклоняющая систе ма 7 находится во включенном состояНИИ .и обеспечивает отклонение электронного пучка от электронно-оптической оси шкpocкoпa на угол рС , необходимый для направления изображений . на экран 9 визуального наблюдения.

ВНИИПИ Заказ .3713/53 Тираж 643 Подписное Произв.-полигр,, пр-тие, г„ Ужгород, ул„ Проектная, 4

0

25

5

30

35 О 50

Угол наклона экрану визуального наблюдения к плоскости экрана фоторе- гистрации определяется геометрическими размерами экрана фоторегистрации, отклоняюш,ей системы и расстоянием от проекционной линзы до экрана. Наклон экрана обеспечивает нормальное падение и попадание электронного пучка на экран визуального наблюдения. Увеличение этого угла нежелательно, так как может привести к искажению наблюдаемого изображения из-за аберраций отклоняющей системы, которые растут с ростом угла ос.

При фотосъемке отклоняющая система 7 находится в выключенном состоянии и электронно-микроскопическое изображение попадает на экран 8 фоторегистрации, расположенный соосно с источником электронов. Таким образом,, осуществляется безынерционное пер ;ключение электронного изображения с одного канапа регистрации на другой, что позволяет значительно сократить цикл проведения исследований на электронном микроскопе, повысить достоверность и информативность научных результатов за счет исключения артефактов, связанных с удлинением цикла одного исследования и вибрациями колонны электронного микроскопа.

Формула изобретения

Электронньш микроскоп, содержащий источник .электронов, последовательно, расположенные по ходу электронного пучка объективную, промежуточн ю и проекционную линзы, а также экраны фоторегистрации и визуального наблюдения, отлич ающийс.я тем, что, с целью повьппения информативности исследования, он снабжен отклоняющей системой, размещенной между проекционной линзой и экраном фоторегистрации, а экран визуального наблюдения установлен перпендикулярно к оси электронного пучка при его наибольшем отклонении на одинаковом по отношению к экрану фоторегистра- ции расстоянии от центра отклонения отклоняющей системы.

Изобретение относится к электро- зондовым устройствам для наблюдения и регистрации изображения, в частности к электронным микроскопам просвечиваемого типа. Цель изобретения - повьшение информативности исследований. Она. достигается путем ускорения цикла фоторегистрации электронного изображения, а также снижения влияния искажений, обусловленных длительным облучением объекта электронным пучком высоких энергий. Электронный мик- содержит размещенные соосно источник 1 электронов, объективную линзу (л) 2, столик 3 объектов, промежуточную Л 4, проекционную Л 5 с магнитопроводом 6, отклоняющую систему 7, экран 8 фоторегистрации и экран 9 визуального наблюдения, наклон которого под углом оО обеспечивает нормальное попадание на него электронного пучка, несущего изображение объекта. Условия выбора величины угла р6 приводятся в описании изобретения. 1 ил. (Л ю 9 О)