Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей Советский патент 1986 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

ш

15

20

25

1124587

Изобретение относится к конт- ольно-измерительной технике и может ыть использовано для контроля птических поверхностей крупногабаитных деталей. 5

Цель изобретения - повышение точости и производительности контроля а счет герасстраиваемости оптичесой системы устройства в процессе онтроля и автоматического отслежива- ия всей оптической системы профиля онтролируемой поверхности.

На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра ,цля контоля формы оптических поверхностей крупногабарит1а х деталей.

Интерферометр содержит последовательно расположенные оптический блок 15 включающий приемную и осветительную системы, плоские зерка:па 2 и 3 и узел 4 в оправах с пробным стеклом 5., каретку 6, шпиндель 7, кронштейн 8 (условно развернут в плоскость чертежа) , механизм 9 динамической балансировки, разгрузочный механизм,10, стойку 11 с направляющими, механизм 12 перемещения каретки. Разгрузочный механизм 10 выполнен в виде шарнирно закрепленного на стойке рычага с противовесом.

Механизм 9 динамической балансировки выполнен в виде штанги с разнесенными по радиусу грузами и закреплен на кронштейне В. Оптический блок 1, зеркала 2 и 3, Узел 4 сменных вспомогательных объективов в оправах, пробное стекло 5 объединены общим кронштейном 8, шарнирно закрепленным на рычаге разгрузочного механизма 10 и снабженным механизмом 9 д iнaмичecкoй балансировки. Рычаг, в свою очередь, закреплен на верхней части стойки 11, на которой расположена каретка 6 со шпинделем 7 для крепления контролируемой детали 13. Каретка 6 установлена на направляющих и может с помощью механизма 12 плавно перемещаться вдоль контролируемого диаметра детали 13. Кронштейн 8 находится в постоянном контакте с контролируемой деталью 3 посредством трех опор, вмонтирован- ных в оправу пробного стекла 5„

30

35

,.40

45

50

.

Интерферометр работает следующим образом.

Устанавливают систему контроля, для чего, исходя из радиуса кривиз- нь контролируемой поверхности, уста-.

5

0

5

0

5

0

5

0

5

навлив.ают необходимьтй вспомогательный объектив из узла 4 с пробным стеклом 5 и перемещают в расчетное положение вдоль оптической оси оптический бхсок 1 . Этики действиями обеспечивается освещение поверхности (рабочей) пробного стекла 5 и коногролируемой поверхности по нормалям к ним. Затем на шпиндель 7 ка- рет1си 6 навинчивается гриб или чашка с деталью 13, верхняя по- верхность которой должна быть проконтролирована. Перемещая каретку 6 по направляющим стойкам 11 при помощи механизма 12, подводят деталь 13 под пробное стекло 5, которое своими опорными ножками самоустанавливается на контролируемой поверхности. Затем регулируют воздушный клин пробньм стеклом 5 и поверхностью детали I3 до нужного вида интерференционной картины.

При контроле перемещают деталь 13 под пробным стеклом 5 с заданным шагом и регистрируют интерференционную картину на всех стоянках (различных участках поверхности). Контроль ведется по двум - восьми ее сечениям, поэтому шпиндель 7 вьтолнен с возможностью поворота вокруг своей оси. Дальнейшая обработка интер- ферограмм позволяет профиль контролируемой поверхности.

Формула изобреп ения

Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей, содержащий последовательно расположенные оптический блок, включающий приёмную и осветительную системы, плоское зеркало и узел сменных объективов с пробным стеклом, кронштейн, на котором закреплен узел сменных объективов, и стойку с направляющими, о т л и - ч а ю ш, и и с я тем. Что, с целью повышения точности и производительности контроля, он снабжен кареткой со шпинделем, установленной на направляющих, дополнитбшьным плоским зеркалом, расположенным под углом к основанию и оптически с ним связанным, разгрузочным механизмом, выпол- ненн1,1м в виде шарнирно закрепленного на стойке рычага с противовесом, ме- .ханизмом динамической балансировки.

3 12458724.

вьшолненным в виде штанги с разнесен- кронштейне шарнирно с концом рычага, ными по радиусу грузами и закреплен- противоположным противовесу, так, ным на кронштейне со стороны, проти- ; что ось приемное системы приемно-ос- воположной оптическому блоку, а опти- ветительного узла перпендикулярна ческий блок и зеркала закреплены на 5 направляющим.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей. Цель изобретения - повьше.ние точности и производительности контроля за счет не- расстраиваемости оптической системы устройства в процессе контроля и автоматического отслеживания всей оптичес кой системы профиля контролируемой поверхности. Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей содержит последовательно расположенные оптический блок, включающий осветительную систему, плоские зеркала и узел сменных вспомогательных объективов в оправах с пробным стеклом, каретку, шпиндель, кронштейн, механизм динамической балансировки, разгрузочный механизм, стойку с направляющими, механизм перемещения каретки. Разгрузочный механизм выполнен в виде шарнирно закрепленного на стойке рычага с противовесом. Механизм динамической балансировки вьтолнен в виде штанги с разнесенными по радиусу -грузами и закреплен на кронштейне. Оптический блок, зеркала, узел сменных вспомогательных объективов в оправах, пробное стекло объединены кронштейном, шарнирно закрепленным на рычаге разгрузочного механизма. 1 ил. е (Л to 4: ел оо vj ю

Редактор А.Козориз

Составитель Л.Лобзова

Техред М.Ходанич Корректор В.Бутяга

Заказ 3985/31Тираж 670. Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 1

Производственно-полиграфическое предприятие , г. Ужгород, ул. Проектная, 4 .