Турбомолекулярный насос для откачки агрессивных газов Советский патент 1986 года по МПК F04D9/04 

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомо.чеку- лярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является повышение надежности насоса путем улучшения заи1И- ты электродвигателя и опорного узла от попадания в него откачиваемого газа.

На фиг. 1 представлен насос с цилиндрической обечайкой, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, с защитным колпаком.

Турбомолекулярный насос содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2, установленный по оси корпуса 1 в его нижней части -г лектродвиг;)тель 3 и закрепленный иа валу 4 :(лектродвигателя 3 полый ротор 5. Насос дополнительно содержит обечайку 6, охватывающую электродвигатель 3 с обра:«)ваиисм кольцевой полости 7, и источник 8 инертпо | aui, модключси- ный к полости 7. Кроме того, обечайка «) снабжена крышкой 9, устиновлепной с осевым зазором относительно ротора Г), или кол

паком И), закрепленным на верхнем торце обечайки и установленным с зазором относительно ротора 5.

Насос работает следующим образом.

При врап1еиии ротора 5 происходит перенос молекул откачиваемого газа со стороны всасывания на сторону нагнетания насоса. Одновременно в полость 7 из источника 8 подают инертный газ, который создает запАИтный барьер для откачиваемых агрессивных газов, не позволяя им про пикнут ; в зону расгюложения электродви- гате.тя. 3. Наличие крышки 9 или ко. шака 10 повып ает зап1,итные свойства вследствие увеличения пути, по которому молекулы агрессивных газов мо1Л т проникнуть в электро- дви1 а1ель. Удаление инертного газа из насоса происходит со сто(1оны iiarHeratuiH ол,- noB)eMcii io с откачиваемым .

i 11)едлагасм1,1Й насос характеризуется по- выпк ниой надежностью вс, 1едстние хо)оп1( й (аши 1Ы : лекгрод1и1гателя.

(риг Z

I .oi i.iHiiriMb в Крякмвкин

PC ижгир л. IlinixaiiTfXptM И Вер.ч-К..р н-ктор И

3;|ка.1 -13.S4.2I Тираж .()I l(j,uim HiH

ВНИИПИ Г(кударс-твенн()го комитета ССЛ .Р

110 делам 13о6ретений и открытий 113035, .Aocквa, Ж - 35, Раушскан наб,, д 4/5 Фн.тиа.: ШП «Патент, Ужгород, ул Проектная,