СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ СУХОГО ПЛЕНОЧНОГО ФОТОРЕЗИСТА НА ПЛАТЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Советский патент 1995 года по МПК H05K3/10 

Изобретение относится к способам и устройствам для нанесения сухого пленочного фоторезиста в технологии печатного монтажа и микроэлектроники.

Цель изобретения повышение производительности в работе и качества нанесения сухого пленочного фоторезиста.

На чертеже приведена принципиальная схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит разъемную вакуумную камеру 1 с уплотнением, снабженную штуцером 2 для откачки воздуха. Разъемная вакуумная камера выполнена из металла.

Внутри вакуумной камеры размещены магазин-накопитель 3 заготовок, узел 4 размотки рулонов сухого пленочного фоторезиста, узел 5 приемки защитной пленки, узел 6 напрессовки светочувствительного слоя на подложку, нагреватель 7.

Узел напрессовки выполнен в виде двух прокатывающих обрезиненных валиков, изготовленных из металла и покрытых обычной или термостойкой, например кремнийорганической, резиной в зависимости от рабочей температуры нанесения. Узел напрессовки снабжен приводом вращения 8, часть которого может находиться снаружи вакуумной камеры. Кроме того, валики или один из них могут быть подпружинены.

Магазин-накопитель 3 содержит конвейерный движитель 9 заготовок или механический толкатель, или толкатель, выполненный на пневмо- или гидравлическом приводе. Толкатель может иметь также электромеханический привод.

Рулоны сухого пленочного фоторезиста 10 устанавливают в узел 4. Заготовки плат 11 укладывают в магазин-накопитель 3. В плоскости разъема вакуумной камеры установлена прокладка 12.

Способ нанесения сухого пленочного фоторезиста с помощью этого устройства осуществляют следующим образом.

Рулоны сухого пленочного фоторезиста 10 устанавливают в узел 4 (верхний и нижний) размотки фоторезиста. Защитную пленку фоторезиста закрепляют в узле 5 приемки защитной пленки. Заготовки печатных плат помещают в магазин-накопитель 3 заготовок.

Освобожденные от защитной пленки оба конца (верхний и нижний) сухого пленочного фоторезиста 10, который одновременно сходит с нижнего и верхнего узлов 4 размотки, пропускают между двумя прокатывающими обрезиненными валиками узла 6 напрессовки.

Герметично закрывают разъемную вакуумную камеру 1 и вакуумируют ее внутреннее пространство до остаточного давления 0,01-200 мм рт.ст. через штуцер 2. Включают нагрев и устанавливают температуру нагревателя, равную 50-120^oC. После нагрева включают привод вращения. При этом в узле 6 напрессовки светочувствительного слоя происходит нагрев и адгезионный контакт его с поверхностью заготовок печатных плат 11, подаваемых с помощью конвейера из магазина-накопителя 3 заготовок. Далее заготовки печатных плат с напрессованным на нижнюю и верхнюю поверхности сухим пленочным фоторезистом выходят из узла напрессовки и поступают в нижнюю часть вакуумной камеры (или специальную емкость). После завершения нанесения фоторезиста выключают нагрев, вакуумную камеру сообщают с атмосферой и производят ее размыкание. Заготовки обрезаются по контуру от фоторезиста и в таком виде используются для дальнейших операций.

1. Способ нанесения сухого пленочного фоторезиста на платы, включающий операции размотки рулона сухого пленочного фоторезиста, отслоения и приемки защитной пленки, подачи заготовок в механизм напрессовки и напрессовки в вакууме фоторезиста на поверхность заготовки при повышенной температуре, отличающийся тем, что, с целью повышения качества нанесения сухого пленочного фоторезиста и производительности процесса, операции размотки рулона сухого пленочного фоторезиста, отслоения и приемки защитной пленки, подачи заготовок в механизм напрессовки, напрессовки фоторезиста на поверхность заготовок выполняют в вакууме при остаточном давлении 1,33 26,7 · 10³ Па и температуре 50 120^oС. 2. Устройство для нанесения сухого пленочного фоторезиста на платы, содержащее механизм размотки рулонов сухого пленочного фоторезиста, механизм приемки защитной пленки, механизм напрессовки пленочного фоторезиста в виде обрезиненных валов и нагреватель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества нанесения и производительности, оно снабжено магазином-накопителем для заготовок плат в виде кассеты и разъемной вакуумной камерой, причем механизмы размотки рулонов, приемки защитной пленки, напрессовки фоторезиста и магазин-накопитель размещены в вакуумной камере.