Устройство для нанесения покрытия на гибкую подложку Советский патент 1979 года по МПК B05C1/04 B05C3/12 H05K3/28 

I

Изобретение относится к устройствам для непрерывного нанесения на пленочный материал различных веществ, в частности, светочувствительной композиции, с последующей сушкой и защитой со стороны композиции вторым слоем пленки.

Известны устройства для нанесения на пленочный материал различных композиций типа клея, эмульсий и т. п., содержащее камеры для покрытия и сущки и ведущие и обжимные ролики 1.

Известны также устрейства для непрерывного покрытия и склейки пленочных материалов, содержащие валы для установки рулонов пленки, резервуар с купающимися роликами, узел прикатки с вариатором, прижимным валом и серводвигателем, нагреватели,обводные ролики 2.

Однако эти устройства обладают рядом недостатков.

Так при нанесении светочувствительных композиций, требующих технологической обработки в течение длительного времени, конструкция устройства получается громоздкой - вытянутой в длину, узел намотки готового продукта отнесен на значительное

расстояние от узлов установки исходных материалов, что приводит к перекосу валов и вызывает больщие поперечные пленки при движении, непостоянную скорость протягивания и, как следствие, ухудшение качества покрытия.

Кроме того, сушка нанесенной композиции перед прикаткой с защитной пленкой производится подогреты.м воздухом, нагнетаемым в камеру с движущейся лентой, при этом возможен частичный выход воздуха, насыщенного парами растворителя из камеры в помещение, что является крайне нежелательным ввиду возможной токсичности, растворителя.

Цель изобретения - улучшение качества 5 покрытия.

Данная цель достигается тем, что устройство для нанесения покрытия на гибкую подложку, содержащее механизм перемотки подложки, узел нанесения покрытия, нагреватель и вакуумную систему, снабжено

0 вакуумным карманом для размещения петли подложки, расположенным за узлом нанесения покрытия по ходу движения подложки, соединенным с вакхлмной системой, снабжсниым Перепускными каналами, расположенными в стенках вакуумного кармана, нерненднкулярных плоскостн подложки, со()6ни1К)ни1миея с полостью вакуумного кармана и снабженными заслонками для измеиеиия их проходного сеченпя, причем нагреватель установлен на одной из стенок вакуумного кармана.

На фиг. I изображена схема описываемого устройства; на фиг. 2 - сечение А-А фиг. I.

Устройство для нанесения нокрытия на гибкую подложку содержит: механизм перемотки подложки, включающий вал 1 для установки рулона лавсановой пленки 2, вал 3 для установки рулона полиэтиленовой нленки 4, присасывающий ролик 5 и обводные ролики 6; узел нанесения покрытия, включаюи;ий резервуар 7 и купающийся ролик 8; вакуумный карман 9; нагреватель 10, размен1енный на одной из стенок вакуумного кармана 9, узел прикатки 11, состоящий из вариатора 12, ролика 13, сервопривода 14, вариатора и подпружиненного прижимного ролика 15; вал 16 для намотки готового пленочного фоторезиста; вентилятор 17; воздущный фильтр 18; вакуумную систему 19.

Вакуумный карман 9 служит для размещения петли подложки 2, расположен за узлом нанесения иокрытия но ходу движения подложки и соединен с вакуумной системой 19. Стенки вакуумного кармана 9 снабжепр:. перепускп1)1ми капалами 20, перпендикулярными нлоскости подложки, со()бп1аюи|имися с полостью вакуумного кармана, с заслонками 2 для изменения их проходного сеченпя. 3aCvTOHKn 21 служат для регулировки величипы потока воздуха, насыщенного нарами растворителя, через вакуумный карман 9 и перенуекные каналы 20. Регулировка обеспечивает достаточпую величину потока воздуха при необходимом раз()ежснии в полости, ограниченной задней стенкой кармана и 1етлей гюдложки. Ре1улировка иоложепия зас.К) 21 производится ко вре.мя на.1адки вручную но вс.личине ра-зрежения, после чего |1о.;1ожеипе зас.юнок 21 ие меияется.

Работает огщсываемое устройспю c.ieд lOiUiiM образом.

11)п п|И1Н дитс.п.иом вращении ирнсас-ывающего ро.лика 5 в иаправ.чении движения час()«)Г стре,1ки ,1авсановая п.ченка 2, размат| |ваяс1 с pyviona, установ.генного на 1, Д1И1Ж(.тся без 1111оска,льз1)1вания че)ез обводные рсгшки 5 в резе|)вуар 7, 1де,огибая свободно враи1а1ощийся куиаюнщйся ро.чнк 8, нокрывается с.юем комиозицнп, то.чщпна которого зависит от скорости движения H.ieHKH и вязкости раствора комнозн. иии. Да,1ьнейн1ее движение .|авсановой IMCHки 2 осуществляется в вакуумном кармане 9. в нравой части которого создается разре жение ири иомощи вакуумиой системы 19 При движении в вакуумном кармане 9 ла 1саиовая пленка 2, касаясь нижней стенки кармана 9 с расположенными на ней нагревателями 10, подсушивается, нри этом пары растворителя уносятся в вакуу.мную систему 19 через перепускные каналы 20. Степень разрежения, а следовательно, и сила иатяжения лавсановой пленки 2, регулируется заслонками 21. Из вакуумного кармана 9 лавсановая нлеика 2 движется к роликами 13 и 15, которые сжимают лавсановую пленку 2 с полиэтиленовой пленкой 4.

Ролик 13, принудительно вращаясь от привода через вариатор 12, вытягивает лавсановую пленку 2 из вакуумного кармана 9, а полиэтиленовую илепку 4 сматывает с рулона, установленного на валу 3. После прикатки готовый пленочный фоторезист наматывается на рулон, установленный на валу 16, который получает принудительное вращение через фрикционную пробуксовывающую муфту.

Система управления устройством обеспечивает равенство липейных скоростей на цилиндрических поверхностях роликов 5 и 13, ири этом, если линейная скорость на новерхности ролика 13 превыщает линейную скорость на поверхности ролика 5, то

5 петля лавсановой пленки 2 вытягивается из кармана 9, возбуждается датчик 22 положения петли лавсановой пленки 2 (в исходном положении петля пленки 2 находится

между датчиками 22 и 23). Этот приводит к тому, что сервопривод вариатора 12 устанавливает рабочие тела вариатора 12 в положение меньщего передаточного отнощения и линейная скорость на поверхности ролика 13 уменьщается. Если линейная скорость на поверхности ролика 13 меньще лиJ нейной скорости на поверхности ролика 5, то .лавсановая илепка 2 накапливается в .viHOM кармане 9 до положепия, когда петля лавеановой иленки 2 достигнет датчика 23, носле чего сервопривод 14 вариатора 12 установит рабочие тела вариатора 12 в положение большего передаточного отпо иеиия и .линейная скорость на поверхности ролика 13 уве.личится.

Таким образом, движение лавсановой нленки 2 через резервуар 7 и купающийся

5 ролик 8 осуществляется с большим постояпством скорости и натяжения. Веитилятор 17 обеспечивает избыточное давление в объе.ме устройства для зан1иты лавсановой пленки 2 попадания ныли.

Формула изобретения

Устройство д.ля нанесения иокр|)1тня иа гибкую подложку, содержа мехапизм перемотки иодложкп, узел нанесения нокрытия, нагреватель и вакуумную систему, отличающееся тем, члч), с не.П)Ю у.лучшепня камесчва нокрылия. оно сиабжеио вакуумным карманом для размещения петлн подложки, расноложенным за узлом нанесения покрытия по ходу движения нодложкн, соединенным с вакуумной системой, спабжепным перепускными каналами, расположенными в стенках вакуумного кармана, nepnetiдикулярных плоскости подложки, сообщающимися с полостью вакумного кармана и снабженными заслонками для изменении

их проходного сечения, причс-м нагреил гёль ycTaiioB.ieH на одной из стсмюк вакуумного кармана.

Источники информации, принятые во 1 нимание при экспертизе

1.Патент США Лу 2611686, кл. 156 495, 23.09.54.

2.Патент СШ.Д № 2525863, кл. 156 495. 17.10.50.

17 IS