Устройство для перемещения оптического элемента интерферометра Советский патент 1986 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптико-механическим измерительным устройствам. Целью изобретения является расширение диапазона перемещений оптических элементов и повышение точности этих переметеНИИ за счет увеличения длины свободной части кольцевых мембран. На чертеже схематически изображено предложенное устройство, разрез. Устройство для перемешения оптического элемента содержит основание 1, скрепленный с основанием кольцевой корпус, состоящий из двух частей 2 и 3, ведомый цилиндр 4, сопряженный с корпусом подвеской, выполненной в виде кольцевых мембран 5 и 6, ведущи.й цилиндр 7, сопряженный с ведомым цилиндром 4 подвеской, выполненной в виде кольцевых мембран 8 и 9. На ведомом цилиндре закреплен оптический элемент 10. Ведущий цилиндр взаимодействует с механизмом принудительного перемещения, выполненным в виде приводного электродвигателя 11, редуктора 12, профильного кулачка 13, двуплечего рычага 14, одно из плеч которого взаимодействует с профильным кулачком, а второе выполнено вилкообразным и взаи.модействует с ведущим цилиндром через ролики 15 и 16. Обе части корпуса, ведущий и ведомый цилиндры размещены соосно. Устройство работает следующим образом. С помощью редуктора 12 и профильного кулачка 13 настраивают необходимые частоту и амплитуду перемещений оптического элемента. После включения электродвигателя 11 перемещения от кулачка 13 через рычаг 14 и ролики 15 и 16 передаются на ведущий цилиндр 7. Перемещения ведущего цилиндра 7 передаются ведомому цилиндру 4 через кольцевые мембраны 8 и 9, которые совместно с мембранами 5 и 6 образуют упругий делитель перемещений. Перемещение ведомого цилиндра составляет доли перемещения ведущего цилиндра, где К1 - жесткость подвески ведущего цилиндра; К2 - жесткость подвески ведомого. В предлагаемом устройстве длина свободной части мембран 8 и 9 значительно превышает длину свободной части мембран 5 и 6, что позволяет сделать подвеску ведо.мого цилиндра в несколько раз более жесткой,чем подвеску ведущего К2 К1, и обеспечить достаточное передаточное отношение упругого делителя. При перемещении оптического элемента интерферометра необходимо обеспечить его строго поступательное движение, а требования к перемещению ведущего цилиндра намного менее жестки. Поэтому кольцевые мембраны 5 и 6 подвески ведомого цилиндра разнесены на максимально возможное расстояние, а кольцевые мембраны 8 и 9 подвески ведущего цилиндра размещены между ними. Формула изобретения 1.Устройство для перемещения оптического элемента интерферометра, содержащее соосные корпус, ведущий и ведомый цилиндры, оправу оптического элемента, закрепленную на ведомом цилиндре, механизм принудительного перемещения ведущего цилиндра, а также подвеску ведущего и ведомого цилиндров, выполненную в виде кольцевых мембран, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона перемещений, мембраны ведущего и ведомого цилиндров выполнены раздельными и размещены в параллельных плоскостях. 2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, мембраны ведущего цилиндра размещены между мембранами ведомого.