Устройство для контроля качества поверхности зеркала Советский патент 1986 года по МПК G01M11/02 

Изобретение относится к производству зеркальных поверхностей и может быть использовано преимущественно для их контроля и аттестации.

Целью изобретения является повьше ние точности контроля за счет исключения влияния промьшленных вибраций на результаты контроля.

На чертеже представлено устройство контроля качества поверхности зер кала.

Устройство для контроля качества зеркальной поверхности 1 содержит оптический квантовый генератор 2, мик рообъектив 3, расположенный в фокусе микробъектива диафрагмы 4 и диагоналного зеркала 5, систему для отражения лучей, состоящую из расположенньп под углом друг к другу принимающего 6, промежуточного 7 и возвращающегося 8 зеркал, а также измерительный микроскоп 9, вращающуюся волоконнооптическую шайбу 10, расположенную в плоскости промежуточного изображения между зеркалами 7 и 8.

Устройство работает следующим образом.

Свет от оптического квантового генератора 2 с помощью микрооб ектива 3 фокусируется на диафрагму 4, которая формирует эталонный тест-объектив в виде светящейся точки, затем попадает на диагональ1ное зеркало 5, отражающее световой пучок на контролируемую зеркальную поверхность 1. Создаваемое контролируемой зеркальной поверхностью 1 изображение тест193

объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на входную торцовую поверхность вращающейся волоконно-оптической щайбы 10. Изображение переносится на выходную торцовую поверхность щайбы 10 и с помощью зеркала 8 световой пучок снова направляется на контролируемую зеркальную поверхность 1. Созданное зеркальной поверхностью 1 вторичное изображение тест-объекта наблюдается в измерительный микроскоп 9.

Формула изобретения

1.Устройство для контроля качества поверхности зеркала, содержащее источник света и расположенные по ходу луча тест-объект, устройство для направления светового пучка на поверхность контролируемого зеркала и. измерительный микроскоп, о т л и ч а- ю щ е е с я тем, что, с целью повыщения точности контроля за счет исключения влияния промышленных вибраций на результаты контроля, устройство снабжено системой повторного отклонения лучей на контролируемую поверхность зеркала и случайным фазовым экраном с возможностью вращения, который расположен в плоскости промежуточного изображения тест-объекта.

2.Устройство по п.I, о т л и ч аю щ е е с я тем, что случайньй фазовый зкран выполнен в виде волоконнооптической щайбы.

Изобретение относится к произ- . водству зеркал и повьшает точность контроля за счет исключения влияния промьшшенных вибраций на результаты контроля. Устройство содержит оптический квантовый генератор 2, свет от которого микрообъекти1вом 3 фокусируется на диафрагму 4, формирующую эталонный тест-объект, и диагональным зеркалом 5 направляется на контролируемую зеркальную поверхность I. Отраженное от поверхности I изображение тест-объекта с помощью зеркал 6 и 7 попадает на вращающийся случайный фазовый экран IО в виде волоконно-оптической шайбы и системой 8 повторного отклонения лучей возвращается на зеркальную поверхность I. Вторичное изображение тест-объекта наб- j людается микроскопом 9. I з.п. ф-лы, (Л 1 ил.