Изобретение относится к анализу состава газов в вакуумных электронных устройствах и может быть использовано нри исследовании физико-химических процессов с участием атомов водорода в вакуумной механике, квантовой электронике и физической химии.
Предлагаемый способ является полуколичественным.
Цель изобретения - повышение экспрес- сности и упрощение способа за счет обеспечения возможности использования более высоких величин давления () в масс-спектрометре.
Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.
В вакуумной камере, которая непрерывно откачивается магниторазрядным насосом, поддерживается рабочий вакуум порядка 10 Па. Состав остаточных газов и паров воды контролируется масс-спектрометром, который одновременно служит для регистрации молекул образующегося при измерении гидрида.
Атомарный водород образуется при диссоциации молекул водорода при возбуждении высокочастотного газового разряда генератором высокой частоты. С помощью коллиматора образуется поток, состоящий из молекулярного и атомарного водорода, на пути которого помещается кварцевая пластинка с нанесенным на ней слоем селена.
На фиг. 1 представлена спектрограмма, характеризующая рабочий вакуум (10 Па) без наличия потока воздуха; на фиг. 2 - спектрограмма, соответствующая потоку молекулярного водорода, при котором вакуум в системе становится 10 Па; на фиг. 3 - спектрограмма, соответствующая наличию атомарного водорода при возбуждении в колбе высокочастотного разряда.
(М;(-7301)
При появлении в потоке атомарного водорода (фиг. 1) образуются молекулы гидрида селена Нг,5е, которые регистрируются масс-анализатором в диапазоне массовых чисел 76-84.
Продукт реакции НгЗе имеет массу, лежащую в области, где отсутствуют масс-пи- ки, характерные для остаточных газов в вакуумной системе 18 (НгО), 28 (Nj, 44 (СОг).
В сравнении с известным, предлагаемый способ позволил увеличить экспрессность детектирования атомного водорода при сохранении чувствительности и повысить стабильность работы детектора во времени.
Предлагаемый способ позволяет регистрировать атомы водорода с интенсивностью потока порядка 10 ° ат/с на фоне давления молекулярного водорода порядка 10 Па. Отсутствие взаимодействия рабочего вещества с остаточными газами в вакуумной камере позволяет детектировать атомарный водород при давлении остаточных газов порядка 10 Па, что упрощает подготовку камеры к работе.
Кроме того, предлагаемый способ детек- 5 тирования позволяет стабилизировать во времени его чувствительность ввиду отсутствия на поверхности контактирования продуктов химического взаимодействия атомарного водорода и селена.
Формула изобретения
Способ детектирования атомарного водорода путем контактирования его с твердой поверхностью химических реагентов с последующей регистрацией газообразных продуктов химической реакции с помощью масс- спектрометра, отличающийся тем, что, с целью повыщения экспрессности и упрощения способа детектирования, в качестве химических реагентов используют селен или серу.
0
0
5
Н2
л
XiO
/члЛлЛлЛлл .
Фиг.1
xw
ywVVv
Фиг. 2
f8
28
Фиг.З
81
a.e. M,
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ АНАЛИЗА МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ ВТОРИЧНОЙ ИОННОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1985 |
|
SU1306396A1 |
| СПОСОБ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ | 2015 |
|
RU2599330C1 |
| СПОСОБ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ И ИДЕНТИФИКАЦИИ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2010 |
|
RU2414697C1 |
| РАБОЧЕЕ ВЕЩЕСТВО ДЛЯ ИСТОЧНИКОВ АТОМОВ В КВАНТОВЫХ СТАНДАРТАХ ЧАСТОТЫ | 1992 |
|
RU2069428C1 |
| Способ масс-спектрального анализа труднолетучих полимеров | 1984 |
|
SU1245984A1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ | 1995 |
|
RU2067130C1 |
| СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ХИМИЧЕСКОГО АКТИВИРОВАНИЯ НЕРАСПЫЛЯЕМЫХ ПОРИСТЫХ ГЕТТЕРОВ | 2011 |
|
RU2461089C1 |
| Способ получения покрытия | 1987 |
|
SU1579573A1 |
| ЭЛЕКТРОФОТОГРАФИЧЕСКИЙ НОСИТЕЛЬ ИЗОБРАЖЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | 1994 |
|
RU2097816C1 |
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ ТЕПЛА | 1990 |
|
RU2115178C1 |
Изобретение относится к анализу состава газов в вакуумных электронных устройствах. Цель - новышение экспрессности и упрощение снособа детектирования атомарного водорода. Способ заключается в следующем: в вакуумной камере поддерживают рабочий вакуум 10 Па. Состав остаточных газов и паров воды контролируют масс-спектрометром (МСП), который одновременно служит для регистрации молекул образующегося при измерении гидрида. Атомарный водород (В) образуется при диссоциации молекул В при возбуждении высокочастотного газового разряда генератором высокой частоты. С помощью коллиматора образуется поток из молекулярного и атомарного В, на пути которого помещают кварцевую пластинку с нанесенным на ней слоем химического реагента (ХР). Цель достигается тем, что в качестве ХР используют селен или серу. Тогда в потоке атомарного В образуются молекулы гидрида селена или серы, которые регистрируются МСП в диапазоне определенных массовых чисел. Способ позволяет регистрировать атомы В с интенсивностью потока 10 ат/с на фоне давления молекулярного В 10 Па. Это упрощает подготовку камеры к работе. 3 ил. SS (Л 1C ОС 1чЭ Ю СО 00
| Способ выделения атомов и ионов водорода из газовых смесей | 1977 |
|
SU698914A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
| Способ детектирования атомов во-дОРОдА или ЕгО изОТОпОВ | 1975 |
|
SU638033A1 |
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
