Сорбционный вакуумный насос Советский патент 1960 года по МПК F04B37/06 

Известны сорбционные вакуумные насосы, в которых разогрев испаряемого из жидкой фазы титанового поглотителя производится в результате электронной бомбардировки.

Однако такие насосы довольно сложны в связи с наличием в них оборудования для ионизации и электронной бомбардировки, а также механизмов подачи титановой проволоки в вакууме. Кроме того, во время переплавки, волочения и протяжки иодидного титана, последний загрязняется, что отрицательно сказывается на создаваемом. насосом вакууме.

Согласно изобретению, с целью упрощения механизма насоса и улучшения его рабочих характеристик, твердофазный испаритель выполнен в виде накаливаемого электрическим током тугоплавкого стержня, на который иодидным способом нанесен титан.

На чертеже схематически изображен сорбционный вакуумный насос с титановым поглотителем.

Накаливаемый электрическим током тугоплавкий стержень /, выполненный, например, из молибдена, вольфрама или тантала, покрыт слоем титана 2, наносимого иодидным способом. Стержень размещен в корпусе насоса 3, соединенном с форвакуумным агрегатом и откачиваемой системой. Питание стержня (испарителя) электрическим током производится через токовводы 4. Тугоплавкие металлы, из которых изготовлен стержень, образуют с титаном непрерывный ряд твердых растворов, вследствие чего переплавление может наступить лишь при достижении температуры плавления титана. Соотношение диаметра стержня и толщины наносимого слоя титана подбирается так, чтобы, даже при испарении всего титана, температура стержня не поднималась до температуры плавления титана.

Нанесение титана на стержень иодидным способом исключает возможность загрязнения его посторонними примесями, что решающим образом влияет на предельно достижимый вакуум.

Описанный насос позволяет получать вакуум порядка 10 ® мм рт. ст. при высокой удельной производительности. Запас титана на испарителе достаточен для непрерывной работы насоса в течение сотен часов.

ilf eдТйет изобретения

-.. Ч

Сорбционный вакуум 1ый насос с титановым поглотителем, отличаю ш, и и , что, ct целью упрощения механизма насоса и улучшения его рабочих xajrailiepHCTHK, твердофазный испаритель насоса выполнен в виде накаливаемого электрическим током тугоплавкого стержня (например, молибденового, вольфрамового или-танталового), на который иодидным способом нанесен титан.

Л срорбакууе ному агрегату

К откачиваемой системе