Способ получения монокристаллов гадолиний-галлиевого граната Советский патент 1992 года по МПК C30B15/00 C30B29/28 

11

Изобретение относится к технологии получения ИЗОЛ1-ФУЮЩИХ подложечных материалов и может быть использовано в электрон ной, цветной и хи- ми еской промышленности.

Целью данного изобретения является получение монокристаллов гадол1Т- ний-галлиевого граната диаметром 127-135 мм с плотностью дефектов 1 7 см .

.Пример 1.В тигель загружают шихту - смесь орислов галлия и гадолиния в соотношении 53,92 мас.% + 46,08 мае.% .Шихту плавят посредством высокочастотного нагрева ир1-щиевого тигля. Азот подают к тепловому узлу перед началом нагрева тигля, кислород (2 об.%) добавляют при появлении расплава. Начиная с момента затравления содержание кислорода уменьшают до 0,9 об.% в конце процесса.

Затравку вращают со скоростью 25 об/мин. При касании затравкой расплава происходит затравливание, после-чего начинают перемещение затравки вверх со скоростью 8 мм/ч. После выращ1таания конуса длиной 70 мм при достижении диаметра кристалла 130 мм скорость вращения затравки уменьшают до 11 об/мин, а скорость перемещения до А,О мм/ч. Выращивание цилиндрической части кристалла ведется с постоянными скоростями

53,9246,08

k.

53,9246,08

53,9246,08

, 53,9246,08

53,9246,08

12

вращения и перемещения 1 I об/мин и sO мм/ч соответственно.

Полученные монокристаллы гадоли- ннй-галлиевого граната имеют диа- метр 130 bfM, массу 13,5 кг, плотность дефектов 0-6 см

Данные по примерам 2-12 выращивания монокристаллов ГГГ сведены в таблицу.

Как видно из таблицы использование предлагаемого способа позволяет получить монокристаллы ГГГ диаметром 127-135 мм высокого структурного совершенства.

0

5

0

Формула изобретен и я

Способ получения монокристаллов гадолиний-галлиевого граната, вклю- расплавление шихты, вытягивание цилиндрической и конической части монокристалла из расплава на вращающуюся затравку с .постоянной скоростью в атмосфере 1шертного га- за, содержащего кислород, концентрацию которого уменьшают к концу процесса, отличающийся тем, что, с целью -увеличения диамет- ра монокристаллов с плотностью дисло каций менее 7 см , вытягивание цилиндрической части ведут со скоростью 2,5-4,0 мм/ч, а затравку Вращают со скоростью 9-11 об/мин.

Редактор Н.Козлова

Составитель Н.Пономарева

Техред Л.ОлейникКорректор А.Зимокосов

Заказ 1304

ТиражПодписное

ВНИЙПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Прюдолжеине таблицы