Способ гальванического титанирования полупроводниковой пленки из двуокиси олова Советский патент 1960 года по МПК C25D3/54 C25D7/12 

Известные способы титанирования из водных растворов предусматривают применение металлического катода (сталь, медь, цинк) и основаны на электролизе трехвалентных соединений титана, что обусловливает большую сложность приготовления электролитов и их нестабильность.

По предлагаемому способу титанирование полупроводниковой пленки, нанесенной на изолятор, производится из водных растворов, содержащих только двойные соли органических кислот титана, например щавелевой, винной, лимонной и других солей, гидролизующихся с образовааием двухвалентного иона TiO2 . Применение описываемого способа позволяет получать на полупроводниковой пленке из двуокиси олоза металлическую пленку титана, обладающую высоким омическим сопротивлением, стабильным переходным сопротивлением, низкотемпературным коэффициентом сопротивления и хорощей износостойкостью.

Титанирование полупроводниковой пленки производится в водном растворе любой из двойных солей титана: калий титан щавелевокислый, натрии титан виннокислый или натрий титан лимоннокислый. Концентрация соли титана в электролите выбирается в зависимости от толщины и омического сопротивления полупроводниковой пленки двуокиси олова, служащей катодом. Гальваническое осаждение титана проводится при плотностях тока порядка 4-8 ла/сж и температуре раствора 18-25°. рН раствора поддерживается в пределах 2,0-2,3 и корректируется серной кислотой. В качестве нерастворимых анодов применена платина. Процесс титанирования полупроводниковой пленки из двуокиси олова продолжается от 8 до 30 мин. Полученная пленка хорощо облуживается мягкими припоями.

№ 134090- 2 Предмет изобретения

Способ гальванического титанирования полупроводниковой пленки из двуокиси олова, нанесенной на изолятор, отличающийся тем, что, с целью получения высокого омического сопротивления, стабильности переходных сопротивлений, низких температурных коэффициентов сопротивления и хорошей износостойкости, полупроводниковую пленку из окиси олова титанируют из растворов, содержащих только двойные соли органических кислот титана, например щавелевой, винной, лимонной и других солей гидролизующихся с образованием двухвалентного иона при плотностях тока от 4 до 8 ма1см, температуре раствора 18- 25° и рН -2,0-2,3.