Способ изготовления тонкослойных непроволочных электрических сопротивлений Советский патент 1960 года по МПК H01C17/00 H01C7/06 

Общим недостатком известных тинов тонкослойных непроволочных электрических сонротивлений является то, что увеличение сопротивления неизбежно связано с уменьшением толщины ироводящего слояПрименение для нолучения нроводящего слоя новых более высокоомных материалов (силицидов железа, никеля и хрома) позволило увеличить толщину проводя1дего слоя высокоомных сопротивлений до нескольких сотых долей микрона. Настоящее изобретение относится к снособам изготовления таких сопротивлений из металлосилициевых сплавов. Предлагается в состав металлосилициевых сплавов вводить лант.: ноиды в количестве до 20%- Введение лантаноидов позволяет изготовлять тонкослойные сопротивления с высоким удельным электрическим сопротивлением проводящего слоя и обеспечивает возможность получения весьма малой зависимости температурного коэффициента сопротивления (ТКС) от температуры.

Вследствие того, что лантаноиды обладают температурами самовоспламенения значительно ниже температур плавления ингредиентов, входящих в наиболее употребительные для непроволочных сопротивлений системы металлосилиция, введение их в общий сплав представляет известные технические трудности. Поэтому предлагается к порощку металлоснлиция. предназначенному к возго1( в вакууме, добавлять некоторое количество порошка окисла лаитаноида, который вводится в проводящий металлосилициевый слой. Такая смесь порошков после тщательного перемешивания наносится на испаритель в количестве, обеспечивающем требуемую толщину проводящего слоя. По достижении в металлизационном приборе вакуума порядка мм испаритель нагревается электрическим током, в результате чего нанесенная на него порощковая смесь плавится и возгоняется, покрывая изоляционные основания сопротивлений, .находящихся в вакуумной камере. В процессе илавления и возгонки между окислом лантаноида и кремнием, входящим в металлосилиций, протекает реакция.типа

№ 134306

ЛаО2+431 Ла512 + 281О

При этой реакции получающиеся силицид лянтапоида и моноокись кремния испаряются одновременно с нанесенным на испаритель мет аллосилицием. Для придания проводящему слою необходимых электрических свойств он подвергается кратковременной (10-30 мин) прокалке при температуре 700-800° с повышением температуры и длительности Прокалки (повыщается положительный ТКС слоя).

Количество окислов лаптаноида, вводимых в металлосилиция, зависит от состава последнего и от того, какой применяется лантаноид.

Предмет изобретения

1.Способ изготовления тонкослойных непроволочных электрических сопротивлений из металлосилициевых сплавов, отличающийся тем, что, с целью повыщения удельного сопротивления проводящего слоя в состав указанных сплавов вводят лантаноиды в количестве

до 20%.

2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что проводящий слой получают путем возгонки в вакууме механической смеси порошков металлосилиция и окислов лантаноидов.