Известен способ изготовления поверхностйых электрических сопротивлений, получаемых возгонкой сплавов в вакууме.
Чтобы увеличить удельное электрическое сопротивление и удельную мощность рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления, осажденный на ту или иную подкладку сплав из металлов, легко восстанавливаемых, и элементов, трудно восстанавливаемых, подвергают, нагревая в соответствующей атмосфере, частичному или полному окислению, а затем - частичному восстановлению.
В результате такой обработки первоначально нанесенный на подкладку слой приобретает такое объемное сочетание металлического сплава и различных окислов в виде двух взаимно переплетенных сеток, -которое обеспечивает получение сопротивления, характеризующегося Значительным удельным электрическим сопротивлением и большой удельной мощностью рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления.
Для получения тонкослойных сопротивлений по предлагаемому способу могут быть использованы различные композиции, в частности состоящие из алюминия, кремния и титана (или бора) в разных пропорциях. При возгонке в вакууме сплава кремния с теми или иными металлами получается тонкий
проводящий слой металлосилиция, обладающего относительно небольшой величиной удельного сопротивления и отрицательным значением ТКС. Под электрической нагрузкой сопротивление такого слоя приобретает большое необратимое изменение своей величины. Для получения требуемых электрических ха. рактеристик изоляционное основание с нанесенным на него металлосилициевым слоем подвергают кратковременной (в течение нескольких минут) прокалке при температуре 700- 800°С в окисляющей воздушной среде.
В процессе прокалки происходит формирование проводящего слоя, состоящее в том, что
часть кремния переходит в его двуокись и моноокись, играющих роль изолирующей фазы своеобразного мик-рокомпозиционного проводника. Появление в проводящем слое металлосилиция изолирующей фазы сопровождается
ростом величины его электрического сопротивления, а обогащение проводящей фазы металлосилиция металлом путем окисления кремния приводит к более полон ительному значению ТКС.
Теплота экзотермической реакции, возникающей между кремнием и входящими в сплав металлами (например, никелем, железом и др.), может быть эффективно использована для снижения температуры обработки предмет изобретения 1.Способ Изготовления поверхиостных электрических сопротивлений, получаемых путем .чозгонки сплавов в вакууме, отличающийся тем, что, с целью обеспечения большого удельного электрического сопротивления и большой удельной мош,ности рассеяния при малой веЛичине температурного .коэффициента сопротивления, осажденный на ту или иную подкладку сплав из металлов, легко вОССтанавливаемых, и элементов, трудно восстанавливаемых, подвергают посредством нагрева в соответствующей атмосфере частичному или полному окислению, а затем - частичному восстановлению. 2.Способ по п. I, отличающийся тем, что, с целью получения заданных электрических параметров проводящего, ., применяют в различных пропорциях алюмнний, кремний, титан (или бор), переходящие при .термической обработке нанесенного слоя частично или полностью в различные комбинации соответствующих окислов. 3.Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения и удешевления технологического процесса термической обработки нанесенного поверхностного слоя, применяют композицию кремния с металлом, например с железом, в которой в результате нагрева нанесенного слоя в окисляющей среде происходит реакция окисления-восстановления, вследствие чего кремний частично переходит в двуокись кремния, остальные же металлы, входящие в сплав, дают только при.месь к этому окислу, оставаясь в основном неокисленными. 4.Способ по пп. 2 и 3, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры обработки сплава, используют дополнительную теплоту экзотермической реакции, возникающей между кремнием и металлами, например, никелем, железом и др., входящими в сплав.
