Способ герметизации вакуумной камеры и вакуумная камера Советский патент 1987 года по МПК F16J15/46 

1

Изобретение относится к уплотни- тельной технике, в частности к способам герметизации вакуумных систем

Целью изобретения является повышение качества герметизации путем исключения охлаждения уплотнительных элементов при создании вакуума,

На фиг, 1 изображена схема ва куумной камеры для осуществления предлагаемого способа, разрез; на фиг, 2 полый уплотнительный элемент с введенным в него проводником на фиг. 3 то же, с проводниками на внутренней поверхности полого уплот- нительь.го элемента.

Вакуумная камера содержит корпус 1 с фланцем 2, на котором установлены уплотнительные элементы 3 и 4, полости которых соединены с источником 5 сжатого воздуха, и крышку б с фланцем 7, Камера соединена с вакуум ной системой 8. В полостях полых уплотнительных элементов 3 и 4 размещены проводники 9 из прецизиоиньЕк сплавов с высоким электрическим сопротивлением, например хромоникелевых марки Х15Н60 Н5 которые подсоединены к источнику электрического тока (не показан), Проводники 9 установлены внутри уплотнительньпс элементов 3 и 4 свободно (фиг, 2) i-ши на внутренних поверхностях уплотнительных элементов 3 и 4 (фиг,. 3),, Материгш проводников 9 выбран таким, чтобы проводники при прохождении электрического тока нагревались до температуры выше температуры окружающей среды, а их размещение на внутренних поверхностях элементов 3 и 4 обусловлено задачей большего разогрева последних,

Герметизацию вакуумной камеры осуществляют следующ: Ш образом.

Крышку 6 подводят к корпусу 1 и фиксируют, затем подают сжатый газ из источника 5 в полости уплотнительных элементов 3 к 4 и одновре; менно включают электрический ток,. Проводники 9 нагреваются, нагревая сжатьй газ в полостях уплотнительных элементов 3 и 4 и сами уплотнт- - тельные элементы 3 и 4. В результгхте нагрева сжатого газа последний расширяется, интенсивность движения молекул возрастает, вследствие чего возрастает давление на внутренние поверхности уплотнительных элементов, последние при нагреве приобре-

.

3449972

тают большую эластичность. В результате увеличивается поверхность облегания уплотнительными элементами 3

g и 4 поверхностей фланцев 2 и 7. Одновременно с этим производят откачку камеры до рабочего давления с помощью вакуумной системы 8„

Пример. Производят гермети10 зацию камеры объемом 1000 см. Используют полые уплотнительные элементы 3 и 4 с внутренним диаметром 10 MMj выполненные из резины, изготовленной на основе силиконовых или

ib фторсодержапгих каучуков. Внутри кольца расположен проводник 9 из сплава с высоким электрическим сопротивлением марки Х13Ю4 диаметром 1,2 мм. При пропускании через него

20 электрического тока он нагревается до 200 С, нагревая при этом окружающий воздух и резиновую оболочку уплотнительных элементов 3 и 4. При этом вьщеляется около 544,3 кДж ла (теплопроводность проволоки

16,8 Вт/м-град), а воздух и резиновая оболочка расширяются. Благодаря расширению воздуха и полых уплотнительных элементов 3 и 4, повьш1ению

30 эластичности резиновой оболочки уплотнительных элементов 3 и 4 при их нагреве улучшается степень прилегания оболочки к стенкам камеры, что повьшает ее герметичность.

ЗБ

Формула изобретения

1.Способ герметизации вакуумной камеры двумя уплотнительными элемен40 тани путем подачи в их полости сжатого газа и вакуумирования пространства между HHMHj отличающий- с я TeMj что, с целью повьш ения качества герметизации, сжатый газ в

45 полых уплотнительных элементах нагревают „

2,Способ по п. 1, отличающийся тем, что газ нагревают (начала в полости уплотнительного

gg элемента, расположенного со стороны атмосферы, а затем в полости другого уплотнительного элемента.

3„ Способ по п. Ij отличаю- D и и с я тем, что сжатый газ наг55

ревают одновременно с полостях обоих уплотнительных элементов,

4, Способ по пп, о т л и - ч а ю щ и и с я тем, что сжатый г аз нагревают путем введения в полости уплотнительных элементов нагретых проводников из прецизионных сплавов с высоким электрическим сопротивлением.

5. Вакуумная камера, содержащая корпус и крьшку с фланцами и размещенные между ними полые уплотнитель- ные элементы, полости которых соединены с источником сжатого газа, о т- лйчающаяся тем, что, с

целью повышения качества герметизации, в полости уплотнительных элементов введены проводники из прецизионных сплавов с высоким электрическим сопротивлением, подсоединенные к источнику электрического тока.

6. Камера по п. 5, отлича- , ю щ а я с я тем, что проводники из прецизионных сплавов размещены в уплотнительных элементах на внутренних поверхностях последних.

Изобретение относится к уплот- нителъной технике и позволяет повысить качество герметичности вакуумной камеры. Герметизируют камеру путем подачи в полые уплотнительные элементы сжатого газа, который дополнительно нагревают с. помощью введенных в уплотнительные элементы проводников из прецизионных сплавов с высоким электрическим согфотивле- нием, подсоединенных к электрической сети. Вакуумная камера содержит корпус и крьшшу с фланцами, между которыми размещены полые уплотнительные элементы, нагреваемые при прохождении электрического тока. 2 с. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил. О С 4 4 СС С

фиг.1

Редактор А.Маковская

Составитель Ю.Кибиткин

ТехредМ.Двдык Корректор И.Муска

Заказ 4904/37Тираж 804Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35,, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная 4

фигЛ