Суспензия для обработки стеклянных изделий Советский патент 1991 года по МПК C09G1/02 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использован для полирования стеклянных пластин при изготовлении фотошаблонов.

Цель изобретения - повышение качества обработки.

Изобретение иллюстрируется следующими примерами.

Пример. Для химикогмехани чес кой обработки стеклянных пластин было приготовлено пять составов с содержанием компонентов, мас.%:

абразив на основе двуокиси церия с удельной поверхност;ью 2-10,, 1,25-to , 5-10 з, 5-10, 2 ЮЗ - последовательно 10, 33, 55, 5, 60,

-к о МП л е т. с п : ( 11,1 п у I-;.. in г и ело Г а (или иминодиуксусная - , нли н ит- рилтриуксус;:; } 1Г1 Л, n.:i;i зтилси;. амиитетрауксусная - ЭДТА) - последо-- Еателыю 0,01; 0,06, 0,1; 0,005, 0,15;

-окись бора - последовательно 0,05; 0,1; 0,15; 0,03; 0,25;,

-вода - остальное.

Данные приоедены п таблице, где примеры 1,2, 3 - по предлагаемому изобретению; примерь Д, 5 - выход за пределы предлагаемого состава; приме 6 - известный состав. Составы приготавливали смешением компонентов.

Агрегативную устойчивость суспензии оценивали по анализу гранулокет- рического состава слиноп отработанных суспензий с помощью счет Ика-аиа лизатора Квантимет-720. За меру агрегативнрй устойчигизсти принимали увеличение содержания частии размером 3 мкм по отношению к исходному составу абразивного по тошка.

Использование абразипного материала на основе двуокиси церия с удельной поверхностью 5 10 - 2 10 см /г обеспечивает узкое фракционное раз деление частиц абразива по размерам, вследствие чего в процессе механической обработки абразивным материалом более равномерно поздействугот на поверхность стйкла, Э о улучшает качес

во поверхности Стеклянной пластины, снижается вероятность появления дефектов механической обработки типа пыкольг и царапины.

Комплексоны относятся к мульти- дентатным ( полифункциональным) хе- латообразующим реагентам и характеризуются наличием циклических структур, образуемых в результате присоединения не только окислов, являющихся составными частями абразивного компонента, но и всех металлов, окислов металлов и катионов, переходяп их в суспензию в процессе обработки.

Окись бора, имеющая частичную растворимость в присутствии комплексо- оГ)р,т1 ои1Их КИСЛОТ, равномерно рас- иределиптся в жидкой фазы г спои: ии за счет проходяга.их процессов мицеллообразования.

5

5

0

B

Введение окиси бора увеличивает твердость стекла, делает его более стойким к химическим воздействиям и менее чувствительным к резким измене 1Иям температуры, В процессе Механической обработки стеклянных плас- T -ni Г рабочей зоне развеиваются высо- кио температуры. Окись бора при повы- сшккн температуры переходит в активное состояние, а анион борной кислоты, В лаимодействуя с поверхностным слоем стекла, внедряется в поверхность, в результате чего образуется .,1й слой, приближенный по состяву к натрийборосчпикатному стек- лу. Стеклянные пластины, обработан- ны предлагаемой суспензией, характеризуются повышенной стабильностью поверхности как по аналитическому состаиу, так и по физико-химическим снойг;г .1ам. Адгезия маскирующих слоев в этом случае более равномерна по поверхности стекла, сами покрытия стабильны во времени по физико меха- ническим параметрам.

Результаты измерений свойств предлагаемого состава и известного состава представлены з таблице.

о oi

« сГ

in 1Л

. - fM - fM

«л

|Л

со « о о

09

о л м

« «о оо о

-.- {N

I I

«

т

о

о

k

о

«л СП ш

- о 1М

о о о

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для полирования стекляннях пластин при изготовлении фотошаблонов. Цель изобретения - повьппение качества обработки стеклянных изделий. Цель достигается за счет использования в суспензии следующих компонентов, Mac.Z: двуокись церия с удельной поверхностью 5 10 -2-10 10-55, поверхностно-активное вещество, выбранное из группы: иминодиуксус- ная, нитрилтриуксусная, этилендиамин- тетрауксусная кислоты 0,01-0,1-, окись бора 0,05-0,15 и вода остапь™ ное. 1 табл.

о

I

о

о о

i

if-Г

Ш 1Л оI

ШчО

X сЛ

tNl

о

о

X

ю

X X I

ш rs

s 1

Использование предлагаемой суспензии, как видно из таблицы увеличивает агрегативную устсгйчивость в 3,3 раза; снижает дефектность маскирующего слоя в 1,8 раза; увеличивает время пятнания в 4,7 раза; улучшает качество обработки стеклянных пластин снижается брак по выколем, царапинам, присушка абразива на 112.

Фор м у ла изобретения

Суспензия для обработки стеклянных изделий, включакцая абразив, водный раствор поверхностно-активного вещества и соединение бора, отличающаяся тем, что, с целью

Составитель И.Гинзбург Редактор Т.Иванова Техред Л.Сердюкова

2564 Тираж А19

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Рауяская наб., д. 4/5

Кор Под

.Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Прое| тная, 4

А7Д28

повышения качества обработки, она в качестве абразива содержит двуокись с удельной поверхностью 5 10- , в качестве поверхностно активного вещества - комплексообра- зующую кислоту, выбранную из группы иминодиуксусная, нитрилтриуксусная, зтилендиаминтетрауксусная, в качест- Q ве соединения бора - окись бора при следующем соотнояения компонентов, мас.Х:

Двуокись церия 10-55 )5 поверхностно- активное вецестио0,01-0,1 Окись бора0,05-0,15 ВодаОстальное

Корректор В.ВутяГа Подписное