Электроизоляционное стекло Советский патент 1988 года по МПК C03C8/02 C03C3/91 

со а о 4

СХ) О5

1366486

Изобретение относится к техноло-т гии силикатов и предназначено для создания, изоляционных покрытий на титановых подложках, используемых в электронных приборах.

Цель изобретения - снижение коэффициента линейного расширения, повышение влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления.

Изобретение поясняется конкретными составами электроизоляционного стек10

ла, приведенными в табл. 1,

Сырьевые материалы - кварцевый песок, глинозем, углекислый барий, углекислый кальций, борная кислота, оксид марганца, взвешивают на технических весах и тщательно перемешивают. Готовую шихту засыпают в ко- рундизовые тигли емкостью 0,1 л и помещают в газовую печь. Время выдержки при максимальной температуре варки 1380120 С 1 ч.

Сваренную стекломассу выливают на воду для получения гранулята, который затем высушивают и размалывают в планетарной мельнице,

Нанесение покрытий из разработанного стекла на пластины из титанового сплава ОТ-4 проводят методом трафаретной печати. Для этого из стекл готовят пасту, добавляя органические связующие.

Пластины с нанесенным покрытием сушат на воздухе при 85 С в течение 15 мин, после чего обжигают в электрической конвейерной печи с максимальной температурой обжига , (время нахождения в зоне максимальной температуры 0,5 ч).

Изготовление образцов для определения физико-химических свойств осуществляют методом отливки в сталные формы. Отжиг образцов проводят при в течение 2 ч в электрической муфельной печи.

Предлагаемые составы обладают свойствами, приведенными в табл.2.

Использование титановых подложек с покрытием из предлагаемого состава электроизоляционного стекла обеспечивает повышение качества, надежности и долговечности микроэлектронных устройств.

Формула изобретения

Электроизоляционное стекло, включающее SiOj, AljOg, BaO, CaO, , отличающееся тем, что, с целью снижения коэффициента линейного расширения, повышения влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления, оно дополнительно содержит MnijiO при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Таблица 2

Изобретение относится к техноло- гии силикатов и предназначено для изоляционного покрытия титановых подложек, используемых при изготовлении интегральных схем в электронных приборах. С целью снижения коэффициента линейного расширения, повышения влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивления, электроизоляционное стекло имеет следукиций химический состав, мас.%: SiO 42,84- 44,31; 4,69-7,04; 3,45- 5,42; BaO 19,08-24,35; CaO 17,22- 19,24; 5,10-7,26. Коэффициент линейного расширения стекла (86,9- 88,3) 10 1/град. Стекло относится к I гидролитическому классу. 2 табл.

Температура варки, С 1380±20 1380120 1380±20 1380120

Температурный коэффициент линейного расширения (20- : 300 С), e/-W град-

Влагоустойчивость,

потери массы, %

Гидролитический класс

Удельное объемное

электросопротивление,

f. Ом.см (при 25°С)

Тангенс угла диэлектрических потерь, tgcflO (при )

Диэлектрическая проницаемость , (при )

Удельное объемное электросопротивление , при 1,3-10

при

2,3-10

87,8

88,3

110