Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки Советский патент 1988 года по МПК G01B7/06 

/1-/}

V

ffus.Z

1

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в микроэлектронике для измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении.

Цель изобретения - повышение точности измерения электропроводящей пленки на начальной стадии ее образвания за счет предотвращения прямого, осаждения электропроводящей пленки на электроды измерительного конденсатора и их замыкания,

На фиг. 1 изображен предлагаемый емкостный датчик со снятой дополнительной диэлектрической пластиной, вид сверху; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг.. 3 - узел I на фиг. 2.

Емкостный.датчик содержит плоское диэлектрическое основание 1, на сторонах которого размещены пары гр бенчатьк электродов 2-5., образующие соответственно измерительный и опор ньй конденсаторы. Электроды 2 и 3 образующие измерительный конденсатор, закрыты дополнительной диэлектрической пластиной 6, установленной на них. Образующаяся в процессе напыления пленка 7 осаждается на внешнюю поверхность пластины 6.

Емкостный датчик работает следующим образом.

Во время вакуумного напьшения . осаждающаяся пленка 7 образует электропроводящее покрытие на поверхности диэлектрической пластины 6, которое изменяет электроемкость измеритель- ;ного конденсатора между его электродами 2 и 3. Электроемкость опорного

конденсатора между его электродами 4 и 5 при этом остается неизменной. Опорный конденсатор используется для температурной компенсации результатов измерения емкости измерительного конденсатора в процессе напыления пленки. Каждому значению емкости измерительного конденсатора соответствует определенная толщина напыляемой пленки. Зависимость между толщиной пленки и ейкостью измерительного конденсатора определяется предварительной градуировкой.

Использование дополнительной диэлектрической пластины обеспечивает возможность измерения толщины электропроводной пленки, так как последняя не замыкает электродов измерительного конденсатора. Заменой дополнительной диэлектрической пластины датчик легко подготавливается к проведению новых измерений, а изменением толщины этой пластины регулируется чувствительность емкостного датчика.

Формул а из обретения

Емкостный датчик для измерения толщины напыляемой пленки, содержащий плоское диэлектрическое основание и размещенные на обеих его плоских поверхностях пары гребенчатых электродов , образующие измерительный и опорный конденсаторы, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения электропроводящей пленки на начальной ста- , дии ее образования, он снабжен дополнительной диэлектрической пластиной, установленной на электродах измерительного конденсатора.

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность .измерения толщины тонких электропроводящих пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Емкостный датчик для измерения толщины электропроводящей напыляемой пленки содержит плоское диэлектрическое основание 1, на обеих поверхностях которого размещены . пары гребенчатых электродов 2 и 3, 4 и 5, образующих соответственно измерительный и опорный, служащий для температурной компенсации, конденсаторы. Дополнительная диэлектрическая пластина 6, установленная на электродах 2 и 3 измерительного конденсатора, закрывает их от прямого осаждения электропроводящей пленки и их замыкания. Б процессе образования пленки на внещней поверхности диэлектрической пластины 6 происходит изменение емкости измерительного конденсатора. Функциональная зависимость между толщиной электропроводящей пленки и изменением емкости измерительного конденсатора определяется предварительной.градуировкой. 3 ил. SS ел с:

gjus-i