Емкостный датчик-свидетель для контроля толщины напыляемой диэлектрической пленки Советский патент 1989 года по МПК G01B7/06 

Фиг.1

Изобретение относится к контроль- но-иэмерительной технике и может быть использовано в микроэлектронике для контроля толщины тонких дидлектричес- ких пленок в процессе их осаждения при вакуумном термическом напылении. Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых толщин диэлектрической пленки за счет шеличения площади осаждения пленки на св здетель при обеспечении идентичнос- ти условий осаждения на всех: его участках поверхности.

На фиг.1 показано схематично кон- структивное выполнение емкостного датчика-свидетеля дляконтроля толщины напьтяемой диэлектрической пленки; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1.

Емкостный датчик содержит основа- ние , вьшолненное в виде цилиндра из диэлектрика, установленного с возможностью вращения вокруг его продольной оси 2, и размещенные по всей площади его внешней поверхности свер- нутые в кольцо, плоские электроды 3 и 4, 1шеющие гребенчатую форму и обра- щенные один к другому своими зубцами, которые расположены в промежутках между зубцами противолежащего электрода.

Емкостный датчик-свидетель работает следующим образом.

Во время вакуумного напыления осаждаемая п тенка образует диэлектри ческое покрытие на внешней поверхност цилиндрического основания 1 и на электродах 3 и 4 емкостного датчика, которое изменяет электроемкость этого датчика между его электродами, Во время осаждения пленки цилиндричес- ксе основание 1 вращается вокруг своей оси 2, Так как электроды 3 и 4 образуют единый гребенчатый цилиндрический конденсатор, то его скорость вращения не влияет на точность измерения емкости, Каждому значению емкости гребенчатого конденсатора соответствует определенная толщина напыляемой пленки. Зависимость между толщиной пленки и емкостью гребенчатого конденсатора может быть определена, предварительной градуировкой.

Использование емкостного датчика- свидетеля предлагаемой конструкции позволит контролировать в широком диапазоне толщину напыляемых диэлектрических пленок и увеличит срок службы датчика, так как благодаря выполнению диэлектрического основания в виде вращающегося цилиндра с распо ложенными на его внешней поверхности гребенчатыми электродами обеспечиваются увеличение емкости образованного ими конденсатора, а также более линейное приращение его емкости в процесса нанесения диэлектрической пленки,

Фо. рмула изобр е тения

Емкостный датчик-свидетель для контроля толщины напыляемой диэлектрической пленки, содержащий основание из диэлектрика и размещенные на нем плоские электроды гребенчатой формы, отличающийся тем, 4TOs с Целью расширения диапазона контролируемых толщин, основание выполнено в виде цилиндра, установленного с возможностью вращения вокруг его оси, а элект{ одь свернуты в кольцо.

Изобретение относится к измери- ,тельной технике и имеет целью расширение диапазона контролируемь:х толщин диэлектрической пленки в процессе ее напыле1шя. Используемый в процессе напыления емкостный датчик-свидетель содержит диэлектрическое осно- ванне 15 вьтолненное в виде цилиндра, установленного с возможностью вращения вокруг его продо11ьной оси 2, и размещенг-Еые по всей его внешней поверхности плоские электроды 3 и 4, имеющие гре6е гчатую форму и обращен™ ные один к другому своими зубцами. Во время ваку много напыления осаждаемая пленка изменяет емкость датчика между его электродами 3 и 4, Благодаря вращению основания емкостного датчика контролируемая пленка равномерно осаждается по всей поверхности цилиндрического емкостного датчика, вследствие чего обеспечивается линейное приращение емкости датчика-свидетеля в процессе напыления на него диэлектрической пленки. 2 ил.

Составитель Т.Бычкова Редактор И,Горная Техред М.Ходанич Корректор Л. Пилипенко

Заказ 7494/38

Тираж 683

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предгфиятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Фиг. г

Подписное