Устройство для контроля неплоскостности и толщины пластин Советский патент 1988 года по МПК G01B7/287 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля неплоскостности II толщины пластин, в том числе полу- щроводниковых и диэлектрических. : Цель изобретения - повышение точности 1|1змерения при контроле неплоскостности и толщины пластин за счет исключения по- |решности деформации.

На чертеже представлена схема устройст- а.

Устройство для контроля неплоскостности

толщины пластин содержит основание 1,

;етыре датчика 2 и 3 перемещений,

лектронный преобразователь 4, включаю1 ий в себя блок 5 измерения толщины,

1;ходы которого соединены с выходами

координатам (перемещениям) базовых датчиков 3, щупы 8 которых образуют равносторонний треугольник, вычисляется вертикальная координата точки пересечения ба- 5 зовой плоскости с щупом 10 датчика 2, расположенного в центре этого треугольника, путем определения среднего арифметического сигналов базовых датчиков.

В блоке измерения неплоскостнйсти определяется разность сигналов с выхода блока 6 определения базовой плоскости и датчика 2, соответствующая отклонению от плоскостности в центре пластины 9.

10

Формула изобретения

15

Устройство для контроля неплоскостности и толщины пластин,содержащее основание с размещенными на нем датчиками. перемещений, электронный преобразователь, вход которого соединен с выходами датчи;|1атчиков 2 и 3, блок 6 определения ба1ОВОЙ плоскости, входы которого соеди- йены с выходами датчиков 3 и соответтвующими входами блока 5, блок 7 из1ерения неплоскостности, первый вход кото-20 ков, отличающееся тем, что, с целью порого соединен с выходом блока б, а второй -выщения точности измерения при контроле

выходом датчика 2, щупы 8 трех ба-толщины и неплоскостности пластин, оно

оБых датчиков 3, расположенные равно-снабжено четырьмя датчиками перемещений,

мерно по окружности, диаметр которойщупы трех датчиков, являющихся базовыми,

меньше контролируемой пластины 9, щуп 1025 расположены равномерно по окружности,

датчика 2 перемещений, расположенный вдиаметр которой меньще диаметра контро1{1ентре окружности расположения щупов 8.лируемой пластины, а щуп четвертого датУстройство работает следующим образом.чика размещен в центре этой окружности.

Контролируемую пластину 9 укладываютэлектронный преобразователь состоит из блоlia щупы 8 и 10 датчиков 3 и 2, сум-ка измерения толщины, входы которого соемарное перемещение которых пропорцио-ЗО динены с выходами всех датчиков, блока

определения базовой плоскости, входы которого соединены с соответствующими входами блока измерения толщины и выходами трех базовых датчиков, блока измерения неплоскостности, первый вход которого сое1рально весу пластины.

Суммирование сигналов всех датчиков проходит в 5, определяют результирующий сигнал, пропорциональный весу, i следовательно, и толщине пластины 9,

так как пластины- калиброваны по диа- 35 динен с выходом блока определения базо- метру с точностью до 0,1 мм. В бло-вой плоскости, а второй вход - с выхо |се б определения базовой плоскости по тремдом четвертого датчика.

координатам (перемещениям) базовых датчиков 3, щупы 8 которых образуют равносторонний треугольник, вычисляется вертикальная координата точки пересечения ба- зовой плоскости с щупом 10 датчика 2, расположенного в центре этого треугольника, путем определения среднего арифметического сигналов базовых датчиков.

В блоке измерения неплоскостнйсти определяется разность сигналов с выхода блока 6 определения базовой плоскости и датчика 2, соответствующая отклонению от плоскостности в центре пластины 9.

Формула изобретения

Устройство для контроля неплоскостности и толщины пластин,содержащее основание с размещенными на нем датчиками. перемещений, электронный преобразователь, вход которого соединен с выходами датчиков, отличающееся тем, что, с целью поопределения базовой плоскости, входы которого соединены с соответствующими входами блока измерения толщины и выходами трех базовых датчиков, блока измерения неплоскостности, первый вход которого сое динен с выходом блока определения базо- вой плоскости, а второй вход - с выхо

Изобретение относится к контрольно- измерительной технике и может быть использовано для контроля неплоскостности и толщины полупроводниковых и диэлектрических пластин. Целью изобретения является повышение точности измерения при контроле неплоскостности и толщины плас9 8 тин. Указанная цель достигается тем, что щупы 8 базовых датчиков 3, на которых располагается контролируемая пластина, задают базовую плоскость по трем вертикальным перемеш,ениям. Щупы 8 располагаются равномерно по окружности, в центре которой располагается щуп 9 датчика 2, перемещение которого относительно базовой плоскости характеризует неплоскостность пластины, толщина пластины измеряется косвенно взвешиванием на четырех датчиках 2 и 3 пластин из материала постоянной плотности и одинаковой площади. Определение толщины пластины происходит суммированием в блоке 5 сигналов с датчиков 2 и 3, а определение базовой плоскости и измерение неплоскостности - соответственно в блоках 6 и 7. Одностороннее измерение неплоскостности и толщины пластины позволяет избегать ее деформации при измерении и, следовательно, повысить точность. 1 ил. i (Л 7 О9 00 00 ю 00