Способ герметизации микросборки Советский патент 1988 года по МПК H01H49/00 

113

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано в приборостроительной промьшшенности в технологии сборки герметичных приборов , закрытых металлическим кожухом.

Цель изобретения - повышение технологичности процесса и качества из делия.

На фиг.1 показан кожух с выдавленной в нем лункой и выступом воронкообразной формы; на фиг.2 - кожух после запайки отверстия, лучом лазера на фиг,3 - кожух после подготовки отверстия для запайки припоем; на (Ъиг.А - отверстие кожуха после запайки припоем.

Способ герметизации микросхемы заключается в следующем.

Одновременно при изготовлении кожуха микросхемы, например, штамповкой, в нем выдавливают лунку 1 и выступ 2 воронкообразной формы с от- качным отверстием 3 в вершине выступ па, для чего в пуансоне и матрице штампа (не показан) предусматривают соответствующие элементы. Затем собирают микросборку, помещают в ва- куумную камеру, осушают и заполняют внутренний объем средой контролируемого состава, например осушенным азотом или сухим воздухом, производят оплавление торца воронкообразного вы- ступа, направляя луч лазера под углом о1 к оси отверстия 3 до получения напльша 4 из материала кожуха При этом вследствие наличия выступа и трубчатой формы его торца луч лазе- ра не попадает в объем микросборки и не повреждает ее элементы.

В качестве лазерной установки используют, например, Квант-15, Квант-1/. При герметизации откачного отверстия легкоплавким припоем лунку заполняют дозой припоя 5, внутреннюю поверхность 6 выступа 2 и его торец залуживают, отверстие 3 при заполнении лунки припоем защища-. ют иглой или образуют после заполнения лунки припоем перед сборкой микросхемы лучом лазера, направляя его по оси выступа 2 со стороны внутреннего объема кожуха известным спосо

бом, затем собирают микросборку, по

|д

15

20

5 ЗО д

с

0

5

182

мещают в вакуумную камеру, производят осушение внутреннего объема, заполняют средой контролируемого состава, например сухим азотом или воздухом, и герметизируют (запаивают) отвер стие 3 , разогревая паяльником или бесконтактным способом, например инфракрасным или лазерным излучением, ранее присоединенную к кожуху дозу припоя 5 в лунке 1. При расплавлении часть припоя 7, благодаря тому, что торец выступа 2 ниже поверхности 8 кожуха, поступает в отверстие 3 и, смачивая стенки трубчатой части выступа, образует пробку, длина которой больше толщины кожуха, надежно герметизирующую микросборку.

Необходимую длину пробки из поя 7 подбирают высотой выступа 2 с учетом исключения образования сосульки припоя внутри кожуха, что легко достигается благодаря наличию выступа 2 и исключения тем самым влияния веса (массы) заранее нанесенной дозы припоя 5 на затекание его в объем микросборки.

Предлагаемый способ позволяет герметизировать откачное (дренажное) отверстие лучом лазера.

Формула изобретения

.Способ герметизации микросборки путем выдавливания в ее кожухе лунки, образования в этой лунке отвер - стия, заполнения внутреннего объема микросборки средой контролируемого состава и герметизации отверстия путем оплавления, отличающийся тем, что, с целью- повьш1е- ния технологичности процесса и качества изделия, в центре лунки выдавливают выступ воронкообразной формы, а отверстие образуют в вершине последнего .

2.Способ поп.1,отличаю- ш и и с я тем, что вершину воронкообразного выступа выдавливают ниже наружной поверхности кожуха.

3.Способ по п.1. о т л и ч а ю - щ и и с я тем. что герметизацию отверстия производят путем оплавления торца выступа лазерным лучом, причем последний направляют под углом к оси отверстия.

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано в приборостроительной промьшшенности в технологии сборки герметичных приборов , закрытых металлическим кожухом. Цель изобретения - повьшение технологичности процесса и качества изделия. В центре лунки 1 выдавливают выступ 2 воронкообразной формы, так,что торец его расположен ниже поверхности кожуха 8, пробива1от отвер- стие 3 в вершине выступа, заваривают конец выступа лазерным лучом, образуя напльш, или вносят в лутсу дозу припоя, с образованием отверстия, которую затем расплавляют любым известным способом. При этом за счет капиллярных сил смачивания внутренней поверхности в часть припоя заполняет отверстие и образует пробку. 2 3.п. ф-лы, 4 ил. (С If.

иг./